A. يۇقىرى پۈركۈش سۈرئىتى. مەسىلەن، SiO2 پۈركۈش جەريانىدا، چۆكۈش سۈرئىتى 200nm/min غىچە، ئادەتتە 10 ~ 100nm/min غىچە بولىدۇ.
ۋە پىلىنكىنىڭ شەكىللىنىش سۈرئىتى يۇقىرى چاستوتا قۇۋۋىتى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك.
B. پىلاستىنكا بىلەن ئاساسىي قەۋەت ئوتتۇرىسىدىكى چاپلىشىشچانلىق پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ ۋاكۇئۇم پار چۆكمىسىدىن چوڭ. بۇنىڭ سەۋەبى، ئاتومنىڭ ئاساسىي قەۋىتىگە بولغان ئوتتۇرىچە كىنېتىك ئېنېرگىيەسى تەخمىنەن 10eV بولۇپ، پلازما ئاساسىي قەۋىتى قاتتىق پۈركۈش تازىلاشقا ئۇچرايدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە پەردە قەۋىتىدە تۆشۈكلەر ئازىيىدۇ، ساپلىقى يۇقىرى، زىچ پەردە قەۋىتى ھاسىل بولىدۇ.
C. پەردە ماتېرىيالىنىڭ كەڭ دائىرىلىك ماسلىشىشچانلىقى، مېتال ياكى مېتال ئەمەس ياكى بىرىكمىلەر بولسۇن، دېگۈدەك بارلىق ماتېرىياللارنى يۇمىلاق تاختايغا تەييارلىغىلى بولىدۇ، ئۇزۇن ۋاقىت ئىشلىتىشكە بولىدۇ.
D. ئاساسىي قەۋەتنىڭ شەكلىگە قويۇلغان تەلەپلەر قاتتىق ئەمەس. ئاساسىي قەۋەتنىڭ يۈزى تەكشى ئەمەس ياكى كەڭلىكى 1 مىللىمېتىردىن كىچىك يېرىقلار بولسا، پىلاستىنكا شەكلىدە پۈركۈشكە بولىدۇ.
رادىئو چاستوتا پۈركۈش قاپلىمىسىنىڭ قوللىنىلىشى يۇقىرىقى ئالاھىدىلىكلەرگە ئاساسەن، رادىئو چاستوتا پۈركۈش ئارقىلىق قاپلانغان قاپلام ھازىر كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىۋاتىدۇ، بولۇپمۇ ئىنتېگرال توك يولى ۋە دىئېلېكترىك فۇنكسىيەلىك پىلاستىنكا تەييارلاشتا ئالاھىدە كەڭ كۆلەمدە ئىشلىتىلىدۇ. مەسىلەن، RF پۈركۈش ئارقىلىق قاپلانغان ئۆتكۈزگۈچسىز ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللار، مەسىلەن، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ Si ۋە Ge ئېلېمېنتلىرى، GsAs، GaSb، GaN، InSb، InN، AIN، CaSe، Cds، PbTe، يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەر SiC، فېرروئېلېكتر بىرىكمىلىرى B14T3O12، گازلاشتۇرۇش ئوبيېكت ماتېرىياللىرى In2Os، SiO2، Al203، Y203، TiO2، ZiO2، SnO2، PtO، HfO2، Bi2O2، ZnO2، CdO، ئەينەك، سۇلياۋ قاتارلىقلار.
ئەگەر قاپلاش كامېراسىغا بىر قانچە نىشان قويۇلسا، بىرلا ۋاقىتتا ۋاكۇئۇمنى بۇزۇۋەتمەي تۇرۇپ، ئوخشاش كامېرادا كۆپ قەۋەتلىك پىلاستىنكا تەييارلاشنى تاماملىغىلى بولىدۇ. دىسۇلفىد قاپلاش تەييارلاش ئۈچۈن ئىچكى ۋە تاشقى ھالقىلارنى كۆتۈرۈش ئۈچۈن مەخسۇس ئېلېكترود رادىئو چاستوتا ئۈسكۈنىسى ئىشلىتىلگەن ئۈسكۈنىلەرنىڭ مىسالى بولۇپ، رادىئو چاستوتا مەنبە چاستوتىسى 11.36MHz، نىشان توك بېسىمى 2 ~ 3kV، ئومۇمىي قۇۋۋىتى 12kW، ماگنىت ئىندۇكسىيە كۈچىنىڭ خىزمەت دائىرىسى 0.008T، ۋاكۇئۇم كامېراسىنىڭ ۋاكۇئۇم چەكلىمىسى 6.5X10-4Pa. يۇقىرى ۋە تۆۋەن چۆكمە سۈرئىتى. ئۇنىڭ ئۈستىگە، رادىئو چاستوتا چېچىلىش قۇۋۋىتىدىن پايدىلىنىش ئۈنۈمى تۆۋەن، نۇرغۇن قۇۋۋەت ئىسسىقلىققا ئايلىنىدۇ، بۇ ئىسسىقلىق نىشاننىڭ سوۋۇتۇش سۈيىدىن يوقىلىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2023-يىلى 12-ئاينىڭ 21-كۈنى