الميزات الرئيسية لطلاء الترسيب بالرش بترددات الراديو

أ. معدل رش عالي. على سبيل المثال، عند رش SiO2، يمكن أن يصل معدل الترسيب إلى 200 نانومتر/دقيقة، وعادة ما يصل إلى 10-100 نانومتر/دقيقة.

ويتناسب معدل تكوين الفيلم تناسباً طردياً مع قوة التردد العالي.

ب. يكون الالتصاق بين الغشاء والركيزة أكبر من الالتصاق الناتج عن ترسيب طبقة الغشاء بالتبخير الفراغي. ويعود ذلك إلى متوسط ​​الطاقة الحركية للذرة الساقطة، والذي يبلغ حوالي 10 إلكترون فولت، حيث تخضع الركيزة في البلازما لعملية تنظيف دقيقة بالرش، مما ينتج عنه طبقة غشاء ذات نقاء عالٍ وكثافة أكبر، مع عدد أقل من الثقوب الدقيقة.

ج. قابلية التكيف الواسعة لمادة الغشاء، سواء كانت معدنية أو غير معدنية أو مركبات، يمكن تحضير جميع المواد تقريبًا على شكل صفيحة مستديرة، ويمكن استخدامها لفترة طويلة.

د. لا تتطلب متطلبات شكل الركيزة دقة كبيرة. يمكن أيضاً ترسيب طبقة رقيقة باستخدام تقنية الترسيب بالرش على سطح الركيزة غير المستوي أو وجود شقوق صغيرة بعرض أقل من 1 مم.

تطبيقات طلاء الترسيب بالرش بترددات الراديو: بناءً على الخصائص المذكورة أعلاه، يُستخدم الطلاء المُرسب بتقنية الترسيب بالرش بترددات الراديو على نطاق واسع حاليًا، لا سيما في تحضير الدوائر المتكاملة، وخاصةً في صناعة الأغشية العازلة. على سبيل المثال، تشمل المواد غير الموصلة وشبه الموصلة التي يتم ترسيبها بهذه التقنية: أشباه الموصلات السيليكون والجرمانيوم، والمواد المركبة مثل زرنيخيد الغاليوم، وأنتيمونيد الغاليوم، ونيتريد الغاليوم، وأنتيمونيد الإنديوم، ونيتريد الإنديوم، ونيتريد الألومنيوم، وسيلينيد الكالسيوم، وكادميوم الكادميوم، وتيلوريد الرصاص، وأشباه الموصلات عالية الحرارة مثل كربيد السيليكون، والمركبات الفيروكهربائية مثل B14T3O12، ومواد التغويز مثل أكسيد الإنديوم، وثاني أكسيد السيليكون، وأكسيد الألومنيوم، وأكسيد الإيتريوم، وثاني أكسيد التيتانيوم، وثاني أكسيد الزنك، وثاني أكسيد القصدير، وأكسيد البلاتين، وثاني أكسيد الهافنيوم، وثاني أكسيد البزموت، وثاني أكسيد الزنك، وأكسيد الكادميوم، بالإضافة إلى الزجاج والبلاستيك، وغيرها.

في حال وضع عدة أهداف في حجرة الطلاء، يُمكن إتمام عملية تحضير طبقة متعددة في الحجرة نفسها دون الإخلال بالفراغ. يُعد جهاز الترددات الراديوية ذو القطب الكهربائي المخصص لحمل الحلقات الداخلية والخارجية لتحضير طلاء ثنائي الكبريتيد مثالًا على المعدات المستخدمة، حيث يعمل بتردد مصدر ترددات راديوية يبلغ 11.36 ميجاهرتز، وجهد هدف يتراوح بين 2 و3 كيلوفولت، وقدرة إجمالية تبلغ 12 كيلوواط، ونطاق تشغيل لقوة الحث المغناطيسي يبلغ 0.008 تسلا، وحد أقصى للفراغ في حجرة الطلاء يبلغ 6.5 × 10⁻⁴ باسكال. مع ذلك، فإن معدل الترسيب في هذه التقنية منخفض. علاوة على ذلك، فإن كفاءة استخدام طاقة الترسيب بالرش الترددي الراديوي منخفضة، حيث يتحول جزء كبير من الطاقة إلى حرارة تُفقد عبر ماء تبريد الهدف.

– نُشر هذا المقال بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا