RF цацалтын бүрхүүлийн үндсэн шинж чанарууд

А. Өндөр цацалтын хурд. Жишээлбэл, SiO2 цацах үед тунадасны хурд 200нм/мин хүртэл, ихэвчлэн 10~100нм/мин хүртэл байж болно.

Мөн хальс үүсэх хурд нь өндөр давтамжийн чадалтай шууд пропорциональ байна.

B. Кино болон суурь материалын хоорондох наалдац нь кино давхаргын вакуум уурын тунадаснаас их байна. Энэ нь туссан атомын суурь биед дундаж кинетик энерги нь ойролцоогоор 10 эВ байдагтай холбоотой бөгөөд плазмын суурь материалд хатуу цацалтын цэвэрлэгээ хийснээр мембран давхаргад бага нүх, өндөр цэвэршилт, нягт мембран давхарга үүсдэг.

C. Мембран материалын өргөн хүрээтэй дасан зохицох чадвар, металл эсвэл металл бус эсвэл нэгдлүүд, бараг бүх материалыг дугуй хавтан болгон бэлтгэж, удаан хугацаанд ашиглаж болно.

D. Субстратын хэлбэрийн шаардлага тийм ч өндөр биш. Субстратын тэгш бус гадаргуу эсвэл 1 мм-ээс бага өргөнтэй жижиг завсар байгаа тохиолдолд хальсан бүрхүүлд цацаж болно.

Радио давтамжийн цацалтын бүрхүүлийн хэрэглээ Дээрх шинж чанарууд дээр үндэслэн радио давтамжийн цацалтаар хуримтлагдсан бүрхүүлийг одоогоор илүү өргөн ашиглаж байгаа бөгөөд ялангуяа интеграл хэлхээ, диэлектрик функцийн хальс бэлтгэхэд онцгой өргөн хэрэглэгддэг. Жишээлбэл, хагас дамжуулагч Si ба Ge элементүүд, GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, өндөр температурт хагас дамжуулагч SiC, ферроэлектрик нэгдлүүд B14T3O12, хийжүүлэлтийн объектын материал In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, шил, хуванцар гэх мэт RF цацалтаар хуримтлагдсан дамжуулагч бус болон хагас дамжуулагч материалууд.

Хэрэв бүрэх камерт хэд хэдэн бай байрлуулсан бол вакуумыг нэгэн зэрэг устгахгүйгээр нэг камерт олон давхаргат хальс бэлтгэх ажлыг дуусгах боломжтой. Дисульфидын бүрхүүл бэлтгэхэд зориулсан дотор болон гадна цагираг агуулсан зориулалтын электродын радио давтамжийн төхөөрөмж нь 11.36MHz радио давтамжийн эх үүсвэрийн давтамж, 2 ~ 3kV байны хүчдэл, 12kW нийт чадал, 0.008T соронзон индукцийн бат бэхийн ажлын хүрээ, вакуум камерын вакуум хязгаар нь 6.5X10-4Pa өндөр ба бага тунадасжилтын хурдтай тоног төхөөрөмжийн жишээ юм. Түүнчлэн, RF-ийн цацалтын эрчим хүчний ашиглалтын үр ашиг бага бөгөөд их хэмжээний эрчим хүч нь дулаан болж хувирдаг бөгөөд энэ нь байны хөргөлтийн уснаас алдагддаг.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа