A. Hafainganam-pandeha avo lenta. Ohatra, rehefa mamoaka SiO2, ny tahan'ny fametrahana dia mety hahatratra 200nm/min, matetika hatramin'ny 10~100nm/min.
Ary ny tahan'ny fiforonan'ny sarimihetsika dia mifanandrify mivantana amin'ny herin'ny matetika avo lenta.
B. Ny fifikirana eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate dia lehibe kokoa noho ny fametrahana etona banga ao amin'ny sosona sarimihetsika. Izany dia noho ny angovo kinetika antonony eo amin'ny fotony amin'ny vatan'ny atôma miditra eo amin'ny 10eV eo ho eo, ary ao amin'ny substrate plasma dia hodiovina mafy ka hiteraka lavaka kely kokoa ao amin'ny sosona membrane, fahadiovana avo lenta, sosona membrane matevina.
C. Azo ampifanarahana amin'ny fitaovana membrane ny fampiasana azy, na metaly na tsy metaly na zavatra simika, saika ny fitaovana rehetra dia azo omanina ho takelaka boribory, azo ampiasaina mandritra ny fotoana maharitra.
D. Tsy dia mitaky ezaka be loatra ny endriky ny substrate. Ny velaran'ny substrate tsy mitovy na ny fisian'ny lavaka kely latsaky ny 1mm ny sakany dia azo aparitaka ao anaty sarimihetsika ihany koa.
Fampiharana ny coating radio frequency sputtering. Mifototra amin'ireo toetra voalaza etsy ambony ireo, ny coating napetraka amin'ny radio frequency sputtering dia ampiasaina betsaka kokoa amin'izao fotoana izao, indrindra amin'ny fanomanana ny circuit integrated sy ny sarimihetsika dielectric function. Ohatra, ny fitaovana tsy conducteur sy semiconductor napetraka amin'ny RF sputtering, anisan'izany ny singa: semiconductor Si sy Ge, fitaovana mitambatra GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semiconductor avo lenta SiC, fitaovana ferroelectric B14T3O12, fitaovana zavatra entona In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, fitaratra, plastika, sns.
Raha misy lasibatra maromaro apetraka ao amin'ny efitrano fandokoana, dia azo atao ihany koa ny mamita ny fanomanana ny sarimihetsika misy sosona maro ao amin'ny efitrano iray ihany nefa tsy manimba ny banga indray mandeha. Ny fitaovana elektroda natokana ho an'ny fitondrana peratra anatiny sy ivelany ho an'ny fanomanana ny fandokoana disulfide dia ohatra iray amin'ny fitaovana ampiasaina amin'ny fandokoana radio matetika 11.36MHz, voltase lasibatra 2 ~ 3kV, hery manontolo 12kW, ny elanelam-piasana amin'ny tanjaky ny induction magnetika 0.008T, ny fetran'ny banga ao amin'ny efitrano banga dia 6.5X10-4Pa. tahan'ny fametrahana avo sy ambany. Ankoatra izany, ambany ny fahombiazan'ny fampiasana herinaratra RF sputtering, ary betsaka ny hery avadika ho hafanana, izay very avy amin'ny rano mangatsiakan'ny lasibatra.
–Navoakan'nympanamboatra milina fanosotra bangaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: 21 Desambra 2023