A. Жоғары шашыраңқылық жылдамдығы. Мысалы, SiO2 шашыраған кезде тұндыру жылдамдығы 200 нм/мин дейін, әдетте 10~100 нм/мин дейін болуы мүмкін.
Ал пленканың пайда болу жылдамдығы жоғары жиілікті қуатқа тікелей пропорционалды.
B. Пленка мен негіз арасындағы адгезия пленка қабатының вакуумдық бу шөгіндісінен үлкен. Бұл түсетін атомның денесіне орташа кинетикалық энергиясы шамамен 10 эВ болатындығына байланысты, ал плазмалық негіз қатаң тозаңдату арқылы тазаланады, бұл мембрана қабатында аз тесіктерге, жоғары тазалыққа және тығыз мембрана қабатына әкеледі.
C. Мембрана материалының кең бейімделуі, металл немесе металл емес немесе қосылыстар, барлық дерлік материалдарды дөңгелек пластинаға дайындауға болады, ұзақ уақыт пайдалануға болады.
D. Негіздің пішініне қойылатын талаптар қатаң емес. Негіздің тегіс емес бетін немесе ені 1 мм-ден аз кішкентай саңылаулардың болуын да пленкаға шашыратуға болады.
Радиожиілікті шашырату жабынын қолдану Жоғарыда аталған сипаттамаларға сүйене отырып, радиожиілікті шашырату арқылы тұндырылған жабын қазіргі уақытта кеңінен қолданылады, әсіресе интегралдық микросхемалар мен диэлектрлік функционалдық пленканы дайындауда кеңінен қолданылады. Мысалы, радиожиілікті шашырату арқылы тұндырылған өткізгіш емес және жартылай өткізгіш материалдар, соның ішінде элементтер: Si және Ge жартылай өткізгіштері, GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe қосылыс материалдары, жоғары температуралы SiC жартылай өткізгіштері, B14T3O12 ферроэлектрлік қосылыстар, In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, шыны, пластик және т.б.
Егер жабын камерасына бірнеше нысана қойылса, вакуумды бір уақытта бұзбай, бір камерада көп қабатты пленканы дайындауды аяқтауға болады. Дисульфидті жабынды дайындауға арналған ішкі және сыртқы сақиналарды көтеруге арналған арнайы электродты радиожиілікті құрылғы - радиожиілік көзінің жиілігі 11,36 МГц, нысана кернеуі 2 ~ 3 кВ, жалпы қуаты 12 кВт, магниттік индукция күші жұмыс диапазоны 0,008 Т, вакуум камерасының вакуум шегі 6,5X10-4Па, жоғары және төмен тұндыру жылдамдығы қолданылатын жабдықтың мысалы. Сонымен қатар, РФ шашырату қуатын пайдалану тиімділігі төмен, ал көп мөлшердегі қуат жылуға айналады, ол нысананың салқындатқыш суынан жоғалады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 21 желтоқсан