ក. អត្រាស្ព្រាយខ្ពស់។ ឧទាហរណ៍ នៅពេលស្ព្រាយ SiO2 អត្រានៃការដាក់អាចឡើងដល់ 200nm/នាទី ជាធម្មតាឡើងដល់ 10~100nm/នាទី។
ហើយអត្រានៃការបង្កើតខ្សែភាពយន្តគឺសមាមាត្រដោយផ្ទាល់ទៅនឹងថាមពលប្រេកង់ខ្ពស់។
ខ. ភាពស្អិតជាប់រវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺធំជាងការដាក់ចំហាយទឹកក្នុងសុញ្ញកាសនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ នេះគឺដោយសារតែថាមពលចលនាជាមធ្យមនៃអាតូមដែលកើតឡើងនៅមូលដ្ឋានទៅនឹងតួនៃស្រទាប់ខាងក្រោមប្រហែល 10 eV ហើយនៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមប្លាស្មានឹងត្រូវទទួលរងនូវការសម្អាតយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដែលបណ្តាលឱ្យមានរន្ធតូចៗនៅក្នុងស្រទាប់ភ្នាសតិចជាងមុន មានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងស្រទាប់ភ្នាសក្រាស់។
គ. ភាពបត់បែនយ៉ាងទូលំទូលាយនៃសម្ភារៈភ្នាស ទាំងលោហៈ ឬអលោហៈ ឬសមាសធាតុ សម្ភារៈស្ទើរតែទាំងអស់អាចត្រូវបានរៀបចំទៅជាចានមូល អាចប្រើបានយូរ។
ឃ. តម្រូវការសម្រាប់រូបរាងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមមិនតឹងរ៉ឹងទេ។ ផ្ទៃមិនស្មើគ្នានៃស្រទាប់ខាងក្រោម ឬមានស្នាមប្រេះតូចៗដែលមានទទឹងតិចជាង 1 ម.ម ក៏អាចត្រូវបានបាញ់ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តផងដែរ។
ការអនុវត្តថ្នាំកូតបញ្ចេញរលកប្រេកង់វិទ្យុ ដោយផ្អែកលើលក្ខណៈខាងលើ ថ្នាំកូតដែលដាក់ដោយការបញ្ចេញរលកប្រេកង់វិទ្យុបច្ចុប្បន្នត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ ជាពិសេសក្នុងការរៀបចំសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា និងខ្សែភាពយន្តមុខងារឌីអេឡិចត្រិចត្រូវបានគេប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយជាពិសេស។ ឧទាហរណ៍ សម្ភារៈមិនមែនចរន្តអគ្គិសនី និងសម្ភារៈពាក់កណ្តាលចរន្តដែលដាក់ដោយការបញ្ចេញរលកប្រេកង់វិទ្យុ រួមមានធាតុ៖ ពាក់កណ្តាលចរន្ត Si និង Ge សម្ភារៈសមាសធាតុ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe សម្ភារៈពាក់កណ្តាលចរន្ត SiC សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ សមាសធាតុ ferroelectric B14T3O12 សម្ភារៈវត្ថុបំលែងឧស្ម័ន In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, កញ្ចក់ ផ្លាស្ទិច ជាដើម។
ប្រសិនបើគោលដៅជាច្រើនត្រូវបានដាក់នៅក្នុងបន្ទប់ថ្នាំកូត វាក៏អាចបញ្ចប់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តច្រើនស្រទាប់នៅក្នុងបន្ទប់តែមួយដោយមិនបំផ្លាញកន្លែងទំនេរក្នុងពេលតែមួយ។ ឧបករណ៍ប្រេកង់វិទ្យុអេឡិចត្រូតដែលឧទ្ទិសដល់ការទ្រទ្រង់ចិញ្ចៀនខាងក្នុង និងខាងក្រៅសម្រាប់ការរៀបចំថ្នាំកូតឌីស៊ុលហ្វីតគឺជាឧទាហរណ៍នៃឧបករណ៍ដែលប្រើក្នុងប្រេកង់ប្រភពប្រេកង់វិទ្យុ 11.36MHz វ៉ុលគោលដៅ 2 ~ 3kV ថាមពលសរុប 12kW ជួរការងារនៃកម្លាំងអាំងឌុចស្យុងម៉ាញេទិក 0.008T ដែនកំណត់នៃបន្ទប់បូមធូលីគឺ 6.5X10-4Pa។ អត្រាដាក់ខ្ពស់ និងទាប។ លើសពីនេះ ប្រសិទ្ធភាពប្រើប្រាស់ថាមពល RF sputtering គឺទាប ហើយថាមពលច្រើនត្រូវបានបំប្លែងទៅជាកំដៅ ដែលបាត់បង់ពីទឹកត្រជាក់នៃគោលដៅ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៣