A. అధిక స్పుటరింగ్ రేటు. ఉదాహరణకు, SiO2 ను స్పుటరింగ్ చేసేటప్పుడు, డిపాజిషన్ రేటు నిమిషానికి 200nm వరకు ఉండవచ్చు, సాధారణంగా నిమిషానికి 10~100nm వరకు ఉంటుంది.
మరియు ఫిల్మ్ ఏర్పడే రేటు అధిక ఫ్రీక్వెన్సీ పవర్కు నేరుగా అనుపాతంలో ఉంటుంది.
B. ఫిల్మ్ పొర యొక్క వాక్యూమ్ వేపర్ డిపోజిషన్ కంటే ఫిల్మ్ మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య అంటుకునే గుణం ఎక్కువగా ఉంటుంది. దీనికి కారణం, బేస్ నుండి బాడీకి చేరే అణువు యొక్క సగటు గతి శక్తి సుమారు 10eV ఉండటం, మరియు ప్లాస్మా సబ్స్ట్రేట్ కఠినమైన స్పుటరింగ్ క్లీనింగ్కు గురికావడం వల్ల మెంబ్రేన్ పొరలో తక్కువ పిన్హోల్స్, అధిక స్వచ్ఛత, మరియు దట్టమైన మెంబ్రేన్ పొర ఏర్పడటం.
C. పొర పదార్థం యొక్క విస్తృత అనుకూలత, లోహం లేదా అలోహం లేదా సమ్మేళనాలు, దాదాపు అన్ని పదార్థాలను గుండ్రని పలకగా తయారు చేయవచ్చు, దీనిని చాలా కాలం పాటు ఉపయోగించవచ్చు.
D. సబ్స్ట్రేట్ ఆకారానికి అవసరాలు అంత కఠినంగా లేవు. సబ్స్ట్రేట్ యొక్క అసమాన ఉపరితలం లేదా 1 మిమీ కంటే తక్కువ వెడల్పు ఉన్న చిన్న చీలికలను కూడా ఫిల్మ్గా స్పుటర్ చేయవచ్చు.
రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ యొక్క అనువర్తనం: పైన పేర్కొన్న లక్షణాల ఆధారంగా, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ స్పట్టరింగ్ ద్వారా వేయబడిన కోటింగ్ ప్రస్తుతం మరింత విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతోంది, ముఖ్యంగా ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల తయారీలో మరియు విద్యుద్వాహక (డైఎలెక్ట్రిక్) ఫంక్షన్ ఫిల్మ్ తయారీలో ఇది ప్రత్యేకంగా విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఉదాహరణకు, RF స్పట్టరింగ్ ద్వారా వేయబడిన అవాహక (నాన్-కండక్టర్) మరియు సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు, వీటిలో సెమీకండక్టర్ మూలకాలు: Si మరియు Ge, సమ్మేళన పదార్థాలు GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్లు SiC, ఫెర్రోఎలెక్ట్రిక్ సమ్మేళనాలు B14T3O12, వాయురూప వస్తు పదార్థాలు In2Os, SiO2, Al2O3, Y2O3, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, గాజు, ప్లాస్టిక్, మొదలైనవి.
కోటింగ్ ఛాంబర్లో అనేక టార్గెట్లను ఉంచినట్లయితే, ఒకేసారి వాక్యూమ్కు భంగం కలగకుండా అదే ఛాంబర్లో బహుళ-పొరల ఫిల్మ్ తయారీని పూర్తి చేయడం కూడా సాధ్యమవుతుంది. డైసల్ఫైడ్ కోటింగ్ తయారీ కోసం లోపలి మరియు బయటి రింగులను కలిగి ఉండే ప్రత్యేక ఎలక్ట్రోడ్ రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ పరికరం దీనికి ఒక ఉదాహరణ. దీనిలో రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ సోర్స్ ఫ్రీక్వెన్సీ 11.36MHz, టార్గెట్ వోల్టేజ్ 2 ~ 3kV, మొత్తం పవర్ 12kW, అయస్కాంత ప్రేరణ బలం యొక్క పని పరిధి 0.008T, మరియు వాక్యూమ్ ఛాంబర్ వాక్యూమ్ పరిమితి 6.5X10-4Pa ఉంటాయి. అధిక మరియు తక్కువ డిపాజిషన్ రేటు. అంతేకాకుండా, RF స్పుటరింగ్ పవర్ వినియోగ సామర్థ్యం తక్కువగా ఉంటుంది, మరియు అధిక మొత్తంలో పవర్ వేడిగా మార్చబడుతుంది, ఇది టార్గెట్ యొక్క శీతలీకరణ నీటి నుండి నష్టపోతుంది.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-21-2023