A. Wysoka prędkość rozpylania. Na przykład, podczas rozpylania SiO2, prędkość osadzania może wynosić do 200 nm/min, zazwyczaj do 10–100 nm/min.
Szybkość formowania się filmu jest wprost proporcjonalna do mocy wysokiej częstotliwości.
B. Przyczepność między warstwą a podłożem jest większa niż w przypadku próżniowego osadzania z fazy gazowej. Wynika to ze średniej energii kinetycznej atomu padającego na podłoże, wynoszącej około 10 eV, oraz z faktu, że podłoże w plazmie będzie poddawane dokładnemu czyszczeniu metodą rozpylania, co skutkuje mniejszą liczbą porów w warstwie membrany, wysoką czystością i gęstością membrany.
C.Szeroka możliwość adaptacji materiału membrany, zarówno metalowego, jak i niemetalicznego lub złożonego; niemal wszystkie materiały można przygotować w formie okrągłej płytki, która może być używana przez długi czas.
D. Wymagania dotyczące kształtu podłoża nie są wygórowane. Nierówności powierzchni podłoża lub obecność małych szczelin o szerokości mniejszej niż 1 mm również umożliwiają napylenie na folię.
Zastosowanie powłoki napylanej częstotliwości radiowej Na podstawie powyższych cech, powłoka nanoszona przez napylanie częstotliwości radiowej jest obecnie szerzej stosowana, zwłaszcza w przygotowywaniu układów scalonych i warstw dielektrycznych. Na przykład materiały nieprzewodzące i półprzewodnikowe nanoszone przez napylanie częstotliwości radiowej, w tym pierwiastki: półprzewodnik Si i Ge, materiały złożone GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, półprzewodniki wysokotemperaturowe SiC, związki ferroelektryczne B14T3O12, materiały obiektów zgazowania In2Os, SiO2, Al2O3, Y2O3, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, szkło, plastik itp.
Umieszczenie kilku tarcz w komorze powlekania umożliwia również wykonanie powłoki wielowarstwowej w tej samej komorze, bez jednoczesnego niszczenia próżni. Przykładem takiego urządzenia jest dedykowane urządzenie wykorzystujące fale radiowe do nanoszenia powłok dwusiarczkowych na pierścienie wewnętrzne i zewnętrzne łożysk. Częstotliwość źródła fal radiowych wynosi 11,36 MHz, napięcie tarczy 2–3 kV, moc całkowita 12 kW, zakres roboczy indukcji magnetycznej 0,008 T, a granica próżni w komorze próżniowej wynosi 6,5×10-4 Pa. Charakteryzuje się wysoką i niską szybkością osadzania. Ponadto, efektywność wykorzystania mocy rozpylania RF jest niska, a duża część energii jest przekształcana w ciepło, które jest tracone z wody chłodzącej tarczę.
– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua
Czas publikacji: 21-12-2023