A. Sekhahla se phahameng sa ho qhala. Mohlala, ha ho qhala SiO2, sekhahla sa ho qhala se ka ba ho fihlela ho 200nm/min, hangata ho fihla ho 10 ~ 100nm/min.
'Me sekhahla sa ho thehoa ha filimi se lekana ka ho toba le matla a maqhubu a phahameng.
B. Ho khomarelana pakeng tsa filimi le substrate ho feta ho kenngoa ha mouoane oa vacuum oa lera la filimi. Sena se bakoa ke hore motheo oa 'mele oa athomo ea ketsahalo o na le matla a kinetic a ka bang 10eV,' me substrate ea plasma e tla hloekisoa ka thata ho fella ka ho se be le masoba a mangata lera la lera, bohloeki bo phahameng, lera le teteaneng la lera.
C. Ka lebaka la ho ikamahanya ha thepa ea lera ka bophara, ebang ke tšepe kapa e seng tšepe kapa metsoako, hoo e batlang e le thepa eohle e ka lokisoa hore e be poleiti e chitja, e ka sebelisoa nako e telele.
D. Litlhoko tsa sebopeho sa substrate ha li hloke boiteko bo bongata. Bokaholimo bo sa lekanang ba substrate kapa boteng ba mapetso a manyane a bophara bo ka tlase ho 1mm le tsona li ka qhatsoa ka filimi.
Tšebeliso ea sekoahelo sa ho phunya maqhubu a seea-le-moea Ho latela litšobotsi tse boletsoeng ka holimo, sekoahelo se kentsoeng ke ho phunya maqhubu a seea-le-moea se sebelisoa haholo hona joale, haholo-holo ho lokiseng lipotoloho tse kopantsoeng 'me filimi ea ts'ebetso ea dielectric e sebelisoa haholo. Mohlala, thepa e seng ea conductor le ea semiconductor e behiloeng ke ho phunya ha RF, ho kenyeletsoa likarolo: semiconductor Si le Ge, thepa ea metsoako GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, li-semiconductor tsa mocheso o phahameng SiC, metsoako ea ferroelectric B14T3O12, thepa ea ntho ea gasification In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, khalase, polasetiki, jj.
Haeba ho kentsoe lipheo tse 'maloa ka phapusing ea ho koahela, ho ka etsahala hore ho phetheloe ho lokisoa ha filimi ea mekhahlelo e mengata ka phapusing e le 'ngoe ntle le ho senya vacuum ka nako e le 'ngoe. Sesebelisoa sa maqhubu a radio sa electrode se inehetseng bakeng sa ho jara masale a ka hare le a ka ntle bakeng sa ho lokisa sekoahelo sa disulfide ke mohlala oa lisebelisoa tse sebelisoang maqhubung a mohloli oa maqhubu a radio a 11.36MHz, motlakase oa sepheo oa 2 ~ 3kV, matla a felletseng a 12kW, sebaka sa ho sebetsa sa matla a ho kenya makenete a 0.008T, moeli oa vacuum ea kamore ea vacuum ke 6.5X10-4Pa. sekhahla se phahameng le se tlase sa ho beha. Ho feta moo, katleho ea tšebeliso ea matla a RF sputtering e tlase, 'me matla a mangata a fetoloa mocheso, o lahlehang metsing a pholileng a sepheo.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Tshitwe-21-2023