ሀ. ከፍተኛ የስፕተር ፍጥነት። ለምሳሌ፣ ሲኦ2ን ሲተነፍሱ፣ የማስቀመጫ ፍጥነቱ እስከ 200 nm/ደቂቃ፣ አብዛኛውን ጊዜ እስከ 10~100 nm/ደቂቃ ሊደርስ ይችላል።
የፊልም ምስረታ ፍጥነት በቀጥታ ከከፍተኛ የድግግሞሽ ኃይል ጋር ተመጣጣኝ ነው።
ለ. በፊልሙ እና በንዑስ ክፍል መካከል ያለው ማጣበቂያ ከፊልሙ ንብርብር የቫክዩም ትነት ክምችት የበለጠ ነው። ይህ የሆነበት ምክንያት የአቶሚክ አማካይ የኪነቲክ ኃይል ወደ 10eV አካባቢ ባለው አካል ላይ ባለው መሠረት ምክንያት ሲሆን በፕላዝማ ክፍል ውስጥ በጥብቅ የሚረጭ ጽዳት ይደረግበታል፣ ይህም በሽፋኑ ንብርብር ውስጥ ያሉት ቀዳዳዎች፣ ከፍተኛ ንፅህና እና ጥቅጥቅ ያሉ የሽፋን ሽፋኖች እንዲቀንሱ ያደርጋል።
ሐ. የሜምብሬም ቁሱ ሰፊ ተለዋዋጭነት፣ ብረትም ሆነ ብረት ያልሆነ ወይም ውህዶች፣ ሁሉም ማለት ይቻላል ቁሳቁሶች ክብ ሳህን ውስጥ ሊዘጋጁ ይችላሉ፣ ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ሊውሉ ይችላሉ።
መ. የንጣፉ ቅርፅ መስፈርቶች አድካሚ አይደሉም። የንጣፉ ያልተስተካከለ ወለል ወይም ከ1ሚሜ በታች ስፋት ያላቸው ትናንሽ ክፍተቶች መኖር በፊልም ውስጥ ሊበተን ይችላል።
የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ ስፑተር ሽፋን አተገባበር ከላይ በተጠቀሱት ባህሪያት ላይ በመመስረት፣ በሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ ስፑተርንግ የሚቀመጠው ሽፋን በአሁኑ ጊዜ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል፣ በተለይም የተቀናጁ ወረዳዎችን እና ዲኤሌክትሪክ ተግባር ፊልምን ለማዘጋጀት በተለይ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። ለምሳሌ፣ በRF ስፑተርንግ የሚቀመጡ ኮንዳክተር ያልሆኑ እና ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች፣ እነዚህም የሚከተሉትን ያካትታሉ፡ ሴሚኮንዳክተር Si እና Ge፣ የተዋሃዱ ቁሳቁሶች GsAs፣ GaSb፣ GaN፣ InSb፣ InN፣ AIN፣ CaSe፣ Cds፣ PbTe፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያላቸው ሴሚኮንዳክተሮች SiC፣ የፌሮኤሌክትሪክ ውህዶች B14T3O12፣ የጋዝፊኬሽን ነገር ቁሳቁሶች In2Os፣ SiO2፣ Al203፣ Y203፣ TiO2፣ ZiO2፣ SnO2፣ PtO፣ HfO2፣ Bi2O2፣ ZnO2፣ CdO፣ መስታወት፣ ፕላስቲክ፣ ወዘተ.
በርካታ ኢላማዎች በሽፋን ክፍሉ ውስጥ ከተቀመጡ፣ በአንድ ጊዜ ቫክዩሙን ሳያጠፉ በተመሳሳይ ክፍል ውስጥ ባለብዙ ንብርብር ፊልም ዝግጅት ማጠናቀቅ ይቻላል። የዲሰልፋይድ ሽፋን ለማዘጋጀት ውስጣዊ እና ውጫዊ ቀለበቶችን ለመሸከም የሚያገለግል ኤሌክትሮድ የሬዲዮ ድግግሞሽ መሳሪያ በ11.36MHz የሬዲዮ ድግግሞሽ ምንጭ ድግግሞሽ ውስጥ ጥቅም ላይ የዋሉ መሳሪያዎች ምሳሌ፣ የ2 ~ 3kV ኢላማ ቮልቴጅ፣ የ12kW አጠቃላይ ኃይል፣ የ0.008T መግነጢሳዊ ኢንዳክሽን ጥንካሬ የስራ ክልል፣ የቫክዩም ክፍል ቫክዩም ገደብ 6.5X10-4Pa ነው። ከፍተኛ እና ዝቅተኛ የማስቀመጫ ፍጥነት። ከዚህም በላይ የRF ስፐተርቲንግ የኃይል አጠቃቀም ውጤታማነት ዝቅተኛ ነው፣ እና ከፍተኛ መጠን ያለው ኃይል ወደ ሙቀት ይቀየራል፣ ይህም ከዒላማው ቀዝቃዛ ውሃ ይጠፋል።
- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ
የፖስታ ሰዓት፡- ታህሳስ-21-2023