A. Heerka sare ee buufinta. Tusaale ahaan, marka uu buufinayo SiO2, heerka dhigista wuxuu noqon karaa ilaa 200nm/daqiiqo, badanaa ilaa 10~100nm/daqiiqo.
Heerka sameynta filimku wuxuu si toos ah ugu dhigmaa awoodda soo noqnoqoshada sare.
B. Isku-xidhka u dhexeeya filimka iyo substrate-ka ayaa ka weyn dhigista uumiga faakuumka ee lakabka filimka. Tani waxay sabab u tahay saldhigga jirka ee tamarta dhaqdhaqaaqa ee atomka ee celceliska ah ee qiyaastii 10eV, substrate-ka balaasmahana waxaa lagu marin doonaa nadiifin adag oo faafin ah taasoo keenta godad yar oo ku yaal lakabka xuubka, daahirnimo sare, iyo lakabka xuubka cufan.
C. La qabsiga ballaaran ee walaxda xuubka, ha ahaato bir ama aan bir ahayn ama isku-dhafan, ku dhawaad dhammaan agabka waxaa loo diyaarin karaa saxan wareegsan, waxaa loo isticmaali karaa muddo dheer.
D. Shuruudaha qaabka substrate-ka ma aha kuwo adag. Dusha sare ee aan sinnayn ee substrate-ka ama jiritaanka jeexyo yaryar oo ballacoodu ka yar yahay 1mm ayaa sidoo kale lagu shubi karaa filim.
Adeegsiga dahaarka dahaarka ee hirarka raadiyaha Iyada oo lagu saleynayo sifooyinka kor ku xusan, dahaarka lagu shubo dahaarka ee hirarka raadiyaha ayaa hadda si weyn loo isticmaalaa, gaar ahaan diyaarinta wareegyada isku dhafan iyo filimka shaqada dielectric ayaa si gaar ah loo isticmaalaa. Tusaale ahaan, walxaha aan ahayn kuwa gudbiya iyo kuwa semiconductor-ka ee lagu shubo dahaarka RF, oo ay ku jiraan walxaha: semiconductor Si iyo Ge, walxaha isku dhafan GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semiconductor-yada heerkulka sare leh SiC, isku-dhafka ferroelectric B14T3O12, walxaha walxaha gaaska In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, galaas, balaastig, iwm.
Haddii dhowr bartilmaameed la dhigo qolka dahaarka, waxaa sidoo kale suurtagal ah in la dhammaystiro diyaarinta filimka lakabka badan leh ee isla qolka iyada oo aan la burburin faakuumka hal mar. Qalabka raadiyaha ee elektaroonigga ah ee loogu talagalay in lagu qaado giraangiraha gudaha iyo dibadda ee diyaarinta dahaarka disulfide waa tusaale ka mid ah qalabka loo isticmaalo inta jeer ee isha raadiyaha ee 11.36MHz, danab bartilmaameed ah oo ah 2 ~ 3kV, awoodda guud ee 12kW, baaxadda shaqada ee xoogga soo-gelinta birlabta ee 0.008T, xadka faakuumka qolka faakuumka waa 6.5X10-4Pa. Heerka dhigista sare iyo hoose. Intaa waxaa dheer, hufnaanta isticmaalka awoodda RF ee faafinta ayaa hooseysa, awood badanna waxaa loo beddelaa kuleyl, kaas oo ka lumaya biyaha qaboojinta ee bartilmaameedka.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Diseembar-21-2023