Радиожыштык чачыратуу менен каптоонун негизги өзгөчөлүктөрү

A. Чачыратуу ылдамдыгы жогору. Мисалы, SiO2 чачыратканда, чөкмө ылдамдыгы 200 нм/мин чейин, адатта 10 ~ 100 нм/мин чейин болушу мүмкүн.

Ал эми пленканын пайда болуу ылдамдыгы жогорку жыштыктагы кубаттуулукка түз пропорционалдуу.

B. Плёнка менен субстраттын ортосундагы адгезия плёнка катмарынын вакуумдук буу чөктүрүүсүнөн жогору. Бул түшкөн атомдун денесине орточо кинетикалык энергиясы болжол менен 10 эВ болгондугуна байланыштуу, ал эми плазма субстратында катуу чачыратма тазалоо жүргүзүлөт, натыйжада мембрана катмарында тешиктер азаят, жогорку тазалык, тыгыз мембрана катмары пайда болот.

C. Мембрана материалынын кеңири ыңгайлашуусу, металл же металл эмес же кошулмалар, дээрлик бардык материалдар тегерек тарелкага даярдалышы мүмкүн, узак убакыт бою колдонсо болот.

D. Негиздин формасына коюлган талаптар өтө катуу эмес. Негиздин тегиз эмес бети же туурасы 1 ммден аз болгон кичинекей жаракалардын болушу да пленкага чачыратылышы мүмкүн.

Радиожыштык чачыратуу менен каптоону колдонуу Жогорудагы мүнөздөмөлөргө таянып, радиожыштык чачыратуу менен капталган каптоо учурда кеңири колдонулат, айрыкча интегралдык микросхемаларды даярдоодо жана диэлектрикалык функциялык пленка өзгөчө кеңири колдонулат. Мисалы, радиожыштык чачыратуу менен капталган өткөргүч эмес жана жарым өткөргүч материалдар, анын ичинде элементтер: Si жана Ge жарым өткөргүчтөрү, GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe кошулма материалдары, жогорку температурадагы SiC жарым өткөргүчтөрү, B14T3O12 ферроэлектрдик кошулмалар, газификация объекттеринин материалдары In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, айнек, пластик ж.б.

Эгерде каптоо камерасына бир нече бута коюлса, анда бир эле камерада вакуумду бир убакта бузбай көп катмарлуу пленканы даярдоону аяктоого болот. Дисульфиддик каптоону даярдоо үчүн ички жана тышкы шакекчелерди көтөрүү үчүн атайын электроддук радио жыштык түзүлүшү колдонулган жабдуулардын мисалы болуп саналат, анда радио жыштык булагынын жыштыгы 11,36 МГц, бута чыңалуусу 2 ~ 3 кВ, жалпы кубаттуулугу 12 кВт, магниттик индукциянын иштөө диапазону 0,008 Т, вакуум камерасынын вакуумунун чеги 6,5X10-4Па, жогорку жана төмөнкү чөкмө ылдамдыгы бар. Андан тышкары, радио жыштык чачыратуу кубаттуулугун пайдалануу эффективдүүлүгү төмөн жана көп өлчөмдөгү кубаттуулук жылуулукка айланат, ал бута муздаткыч суудан жоголот.

– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа