A. Kiwango cha juu cha kunyunyizia. Kwa mfano, wakati wa kunyunyizia SiO2, kiwango cha uwekaji kinaweza kuwa hadi 200nm/dakika, kwa kawaida hadi 10~100nm/dakika.
Na kiwango cha uundaji wa filamu kinalingana moja kwa moja na nguvu ya masafa ya juu.
B. Mshikamano kati ya filamu na substrate ni mkubwa kuliko uwekaji wa mvuke wa utupu wa safu ya filamu. Hii ni kutokana na msingi wa mwili wa atomi ya tukio hilo, wastani wa nishati ya kinetiki ya takriban 10eV, na katika substrate ya plasma itafanyiwa usafi mkali wa matone na kusababisha mashimo machache kwenye safu ya utando, usafi wa hali ya juu, na safu mnene ya utando.
C. Urahisi wa kubadilika kwa nyenzo za utando, iwe ni chuma au zisizo za chuma au misombo, karibu vifaa vyote vinaweza kutayarishwa katika bamba la mviringo, vinaweza kutumika kwa muda mrefu.
D. Mahitaji ya umbo la substrate si ya kuhitaji nguvu nyingi. Uso usio sawa wa substrate au uwepo wa mianya midogo yenye upana wa chini ya 1mm pia inaweza kupigwa kwenye filamu.
Matumizi ya mipako ya kunyunyizia masafa ya redio Kulingana na sifa zilizo hapo juu, mipako iliyowekwa na kunyunyizia masafa ya redio kwa sasa inatumika sana, haswa katika utayarishaji wa saketi zilizojumuishwa na filamu ya utendaji ya dielectric inatumika sana. Kwa mfano, nyenzo zisizo za kondakta na semiconductor zilizowekwa na kunyunyizia RF, ikijumuisha elementi: semiconductor Si na Ge, nyenzo za kiwanja GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semiconductor za halijoto ya juu SiC, misombo ya ferroelectric B14T3O12, nyenzo za kitu cha gesi In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, glasi, plastiki, n.k.
Ikiwa shabaha kadhaa zimewekwa kwenye chumba cha mipako, inawezekana pia kukamilisha utayarishaji wa filamu ya tabaka nyingi katika chumba kimoja bila kuharibu utupu kwa wakati mmoja. Kifaa maalum cha masafa ya redio ya elektrodi kwa ajili ya kubeba pete za ndani na nje kwa ajili ya utayarishaji wa mipako ya disulfidi ni mfano wa vifaa vinavyotumika katika masafa ya chanzo cha masafa ya redio ya 11.36MHz, volteji inayolengwa ya 2 ~ 3kV, nguvu ya jumla ya 12kW, kiwango cha kufanya kazi cha nguvu ya induction ya sumaku ya 0.008T, kikomo cha utupu wa chumba cha utupu ni 6.5X10-4Pa. kiwango cha juu na cha chini cha utuaji. Zaidi ya hayo, ufanisi wa matumizi ya nguvu ya sputtering ya RF ni mdogo, na kiasi kikubwa cha nguvu hubadilishwa kuwa joto, ambalo hupotea kutoka kwa maji baridi ya shabaha.
– Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa chapisho: Desemba-21-2023