A. Суръати баланди пошидани газ. Масалан, ҳангоми пошидани SiO2, суръати таҳшиншавӣ метавонад то 200 нм/дақ, одатан то 10~100 нм/дақ бошад.
Ва суръати ташаккули плёнка мустақиман ба қувваи басомади баланд мутаносиб аст.
B. Часпиши байни плёнка ва субстрат аз қабати плёнкаи вакуумӣ зиёдтар аст. Ин аз он сабаб аст, ки энергияи миёнаи кинетикии атоми афтанда ба бадан тақрибан 10 эВ аст ва дар плазма субстрат ба тозакунии қатъии пошидан дучор мешавад, ки дар натиҷа сӯрохиҳои камтар дар қабати мембрана, тозагии баланд ва қабати зичи мембрана ба вуҷуд меоянд.
C. Мутобиқшавии васеи маводи мембрана, хоҳ металлӣ ва хоҳ ғайриметаллӣ ё пайвастагиҳо, қариб ҳамаи маводҳоро метавон ба табақи мудаввар омода кард ва онҳоро муддати тӯлонӣ истифода бурдан мумкин аст.
D. Талабот барои шакли таҳкурсӣ чандон сахт нест. Сатҳи нобаробари таҳкурсӣ ё мавҷудияти сӯрохиҳои хурд бо паҳнои камтар аз 1 мм низ метавонад ба плёнка пошида шавад.
Истифодаи рӯйпӯши пошидани басомади радиоӣ Бар асоси хусусиятҳои дар боло зикршуда, рӯйпӯше, ки бо пошидани басомади радиоӣ гузошта мешавад, айни замон васеътар истифода мешавад, махсусан дар тайёр кардани схемаҳои интегралӣ ва плёнкаи функсияи диэлектрикӣ махсусан васеъ истифода мешавад. Масалан, маводҳои ғайриноқил ва нимноқилҳое, ки бо пошидани RF гузошта мешаванд, аз ҷумла унсурҳо: нимноқилҳои Si ва Ge, маводҳои пайвастаи GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, нимноқилҳои SiC-и ҳарорати баланд, пайвастагиҳои ферроэлектрикӣ B14T3O12, маводҳои объекти газификатсия In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, шиша, пластикӣ ва ғайра.
Агар дар камераи рӯйпӯш якчанд ҳадаф ҷойгир карда шаванд, инчунин имкон дорад, ки дар як камера омода кардани плёнкаи бисёрқабата бидуни вайрон кардани вакуум дар як вақт анҷом дода шавад. Дастгоҳи радиобасомади электроди махсус барои подшипникҳои ҳалқаҳои дохилӣ ва берунӣ барои тайёр кардани рӯйпӯши дисульфидӣ мисоли таҷҳизотест, ки дар басомади манбаи радиобасомад 11.36MHz, шиддати ҳадаф 2 ~ 3kV, қувваи умумии 12kW, диапазони кории қувваи индуксияи магнитӣ 0.008T, ҳадди вакуумии камераи вакуумӣ 6.5X10-4Pa истифода мешавад. Суръати баланд ва пасти таҳшиншавӣ. Ғайр аз ин, самаранокии истифодаи қувваи пошидани RF паст аст ва миқдори зиёди энергия ба гармӣ табдил меёбад, ки аз оби хунуккунии ҳадаф гум мешавад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 21 декабри соли 2023