এ. উচ্চ স্পাটারিং হার। উদাহরণস্বরূপ, SiO2 স্পাটারিং করার সময়, জমা হওয়ার হার 200nm/min পর্যন্ত হতে পারে, যদিও সাধারণত এটি 10~100nm/min পর্যন্ত হয়ে থাকে।
এবং ফিল্ম গঠনের হার উচ্চ কম্পাঙ্কের শক্তির সাথে সরাসরি সমানুপাতিক।
খ. ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আসঞ্জন, ফিল্ম স্তরের ভ্যাকুয়াম ভেপার ডিপোজিশনের চেয়ে বেশি। এর কারণ হলো, প্লাজমাতে আপতিত পরমাণুর গড় গতিশক্তি প্রায় ১০eV এবং সাবস্ট্রেটটি কঠোর স্পাটারিং ক্লিনিং-এর মধ্য দিয়ে যায়, যার ফলে মেমব্রেন স্তরে পিনহোল কম হয় এবং একটি উচ্চ বিশুদ্ধ ও ঘন মেমব্রেন স্তর তৈরি হয়।
গ. ঝিল্লির উপাদানের ব্যাপক অভিযোজনযোগ্যতা রয়েছে; তা ধাতু, অধাতু বা যৌগ যাই হোক না কেন, প্রায় সব উপাদান দিয়েই গোলাকার প্লেট তৈরি করা যায় এবং তা দীর্ঘ সময় ধরে ব্যবহার করা সম্ভব।
D. সাবস্ট্রেটের আকৃতির জন্য তেমন কোনো কঠোর শর্ত নেই। সাবস্ট্রেটের অসমতল পৃষ্ঠ অথবা ১ মিমি-এর কম প্রস্থের ছোট ছোট ফাটলকেও স্পাটারিংয়ের মাধ্যমে ফিল্মে পরিণত করা যায়।
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্পাটারিং কোটিং-এর প্রয়োগ: উপরোক্ত বৈশিষ্ট্যগুলির উপর ভিত্তি করে, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্পাটারিং দ্বারা জমা করা কোটিং বর্তমানে আরও ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হচ্ছে, বিশেষ করে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট এবং ডাইইলেকট্রিক ফাংশন ফিল্ম তৈরিতে এটি বিশেষভাবে ব্যবহৃত হয়। উদাহরণস্বরূপ, আরএফ স্পাটারিং দ্বারা জমা করা অপরিবাহী এবং অর্ধপরিবাহী পদার্থ, যার মধ্যে রয়েছে: অর্ধপরিবাহী Si এবং Ge, যৌগিক পদার্থ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, উচ্চ-তাপমাত্রার অর্ধপরিবাহী SiC, ফেরোইলেকট্রিক যৌগ B14T3O12, গ্যাসীয়করণ বস্তুর পদার্থ In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, কাচ, প্লাস্টিক, ইত্যাদি।
কোটিং চেম্বারে একাধিক টার্গেট রাখলে, ভ্যাকুয়াম নষ্ট না করেই একই চেম্বারে বহুস্তরীয় ফিল্ম তৈরির কাজ একবারে সম্পন্ন করা সম্ভব। ডাইসালফাইড কোটিং তৈরির জন্য বিয়ারিংয়ের ভেতরের ও বাইরের রিংয়ের জন্য ব্যবহৃত বিশেষ ইলেকট্রোড রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ডিভাইসটি এমন একটি সরঞ্জামের উদাহরণ, যেখানে রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি সোর্সের ফ্রিকোয়েন্সি ১১.৩৬ মেগাহার্টজ, টার্গেট ভোল্টেজ ২~৩ কিলোভোল্ট, মোট পাওয়ার ১২ কিলোওয়াট, চৌম্বকীয় আবেশ শক্তির কার্যক্ষম পরিসীমা ০.০০৮ টেসলা এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারের ভ্যাকুয়ামের সীমা ৬.৫×১০⁻⁴ প্যাসকেল। এর ডিপোজিশন রেট উচ্চ এবং নিম্ন উভয়ই হতে পারে। অধিকন্তু, আরএফ স্পাটারিং পাওয়ার ব্যবহারের দক্ষতা কম এবং বিপুল পরিমাণ শক্তি তাপে রূপান্তরিত হয়, যা টার্গেটের শীতলীকরণ জলের মাধ্যমে নষ্ট হয়ে যায়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ২১-ডিসেম্বর-২০২৩