A. tüýkürmegiň ýokary derejesi. Mysal üçin, SiO2 dökülende, depozit tizligi 200nm / min, adatça 10 ~ 100nm / min çenli bolup biler.
Filmiň emele geliş tizligi ýokary ýygylyk güýjüne gönüden-göni proporsionaldyr.
B. Film bilen substratyň arasyndaky ýapyşma, film gatlagynyň wakuum bug çökündisinden has uludyr. Munuň sebäbi, hadysanyň bedenine ortaça 10eV atom kinetiki energiýasy bilen baglydyr we plazma substratynda membrananyň gatlagynda az çukurlaryň, ýokary arassalygyň, dykyz membrananyň gatlagynyň gaty arassalanmagyna sezewar bolar.
C. Membrana materialynyň giň uýgunlaşmagy, metal ýa-da metal däl ýa-da birleşmeler, ähli materiallar diýen ýaly tegelek tabaga taýýarlanyp bilner, uzak wagtlap ulanylyp bilner.
D. Substratyň görnüşine talaplar talap etmeýär. Substratyň deň däl üstü ýa-da ini 1 mm-den az bolan kiçijik bölekleriň bolmagy hem filme dökülip bilner.
Radio ýygylykly tüýdük örtüginiň ulanylmagy aboveokardaky aýratynlyklara esaslanyp, häzirki wagtda radio ýygylygy tüýkürmek arkaly goýlan örtük has giňden ulanylýar, esasanam integral zynjyrlary taýýarlamakda we dielektrik funksiýa filmi has giňden ulanylýar. Mysal üçin, geçiriji däl we ýarymgeçiriji materiallar, şol sanda elementler: ýarymgeçiriji Si we Ge, birleşdiriji materiallar GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, ýokary temperaturaly ýarymgeçirijiler SiC, ferroelektrik birleşmeler B14T3O12, gazlaşdyryş obýekti TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, aýna, plastmassa we ş.m.
Örtük kamerasynda birnäçe nyşan ýerleşdirilen bolsa, wakuumy ýok etmezden, bir kamerada köp gatly filmiň taýýarlanyşyny tamamlamak mümkin. Disulfid örtügini taýýarlamak üçin içerki we daşarky halkalary götermek üçin bagyşlanan elektrod radio ýygylyk enjamy, radio ýygylyk çeşmesiniň ýygylygy 11.36MHz, maksat naprýa 2eniýesi 2 ~ 3kV, umumy güýji 12kW, magnit induksiýa güýjüniň 0.008T, wakuum kamera wakuumynyň çägi 6.5X10-4Pa. ýokary we pes çöketlik derejesi. Mundan başga-da, RF tüýdük güýjüni ulanmagyň netijeliligi pes we köp mukdarda maksat nyşanyň sowadyjy suwundan ýitirilýän ýylylyga öwrülýär.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: 21-2023-nji dekabry