Дар муқоиса бо дигар технологияҳои пӯшиш, қабати пошидан дорои хусусиятҳои зерини назаррас аст: параметрҳои корӣ диапазони калони танзими динамикӣ доранд, суръат ва ғафсии пӯшиш (ҳолати майдони пӯшиш) ба осонӣ назорат карда мешаванд ва дар геометрияи ҳадафи пошидан маҳдудиятҳои тарҳрезӣ вуҷуд надоранд, то якрангии рӯйпӯшро таъмин кунанд; Дар қабати плёнка мушкилоти заррачаҳои қатраӣ вуҷуд надорад: қариб ҳама металлҳо, хӯлаҳо ва масолеҳи сафолиро метавон ба маводи мақсаднок табдил дод; Тавассути пошидани DC ё RF, рӯйпӯшҳои металлӣ ё хӯлаи холис бо таносуби дақиқ ва доимӣ ва филмҳои реаксияи металлӣ бо иштироки газ метавонанд барои қонеъ кардани талаботҳои гуногун ва дақиқи баланди филмҳо тавлид шаванд. Параметрҳои маъмулии раванди пошидани пошидан инҳоянд: фишори корӣ 01Па; Шиддати мақсаднок 300 ~ 700 В аст ва зичии нерӯи ҳадаф 1 ~ 36 Вт / см2 аст. Хусусиятҳои хоси пошидан инҳоянд:
(1) Сатҳи баланди пасандоз. Аз ҳисоби истифодаи электродҳо, ҷараёнҳои хеле калони ионҳои бомбаборони ҳадафро ба даст овардан мумкин аст, аз ин рӯ суръати пошидани пошидан дар сатҳи ҳадаф ва суръати рехтани филм дар сатҳи субстрат баланд аст.
(2) Самаранокии баланди барқ. Эҳтимолияти бархӯрди байни электронҳои кам энергия ва атомҳои газ зиёд аст, бинобар ин суръати ионизатсияи газ хеле зиёд мешавад. Мутаносибан, импеданси гази разряд (ё плазма) хеле кам мешавад. Аз ин рӯ, дар муқоиса бо пошидани дуқутби доимии доимӣ, ҳатто агар фишори корӣ аз 1~10Па то 10-2~10-1Па кам карда шавад, шиддати пошидан аз якчанд ҳазор вольт ба садҳо вольт кам мешавад ва самаранокии пошидани пошидан ва суръати таҳшиншавӣ ба миқдори зиёд меафзояд.
(3) Пошидани энергияи кам. Аз сабаби паст будани шиддати катод, ки ба нишон дода мешавад, плазма дар фазои наздики катод бо майдони магнитӣ пайваст мешавад, ки ба паҳлӯи субстрат омадани зарраҳои заряди энергияи баландро бозмедорад. Аз ин рӯ, дараҷаи зараре, ки дар натиҷаи бомбаборони зарраҳои заряднок ба субстратҳо, ба монанди дастгоҳҳои нимноқилӣ, нисбат ба дигар усулҳои пошидан камтар аст.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа.
Вақти фиристодан: сентябр-08-2023