ఇతర పూత సాంకేతికతలతో పోలిస్తే, స్పట్టరింగ్ పూత కింది ముఖ్యమైన లక్షణాలను కలిగి ఉంది: పని పారామితులు పెద్ద డైనమిక్ సర్దుబాటు పరిధిని కలిగి ఉంటాయి, పూత నిక్షేపణ వేగం మరియు మందం (పూత ప్రాంతం యొక్క స్థితి) నియంత్రించడం సులభం, మరియు పూత యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి స్పట్టరింగ్ లక్ష్యం యొక్క జ్యామితిపై ఎటువంటి డిజైన్ పరిమితులు లేవు; ఫిల్మ్ పొరకు బిందు కణాల సమస్య లేదు: దాదాపు అన్ని లోహాలు, మిశ్రమాలు మరియు సిరామిక్ పదార్థాలను లక్ష్య పదార్థాలుగా తయారు చేయవచ్చు; DC లేదా RF స్పట్టరింగ్ ద్వారా, ఫిల్మ్ల యొక్క విభిన్న మరియు అధిక-ఖచ్చితత్వ అవసరాలను తీర్చడానికి ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన నిష్పత్తులతో స్వచ్ఛమైన మెటల్ లేదా మిశ్రమం పూతలు మరియు గ్యాస్ భాగస్వామ్యంతో మెటల్ రియాక్షన్ ఫిల్మ్లను ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. స్పట్టరింగ్ పూత యొక్క సాధారణ ప్రక్రియ పారామితులు: పని ఒత్తిడి 01Pa; లక్ష్య వోల్టేజ్ 300~700V, మరియు లక్ష్య శక్తి సాంద్రత 1~36W/cm2. స్పట్టరింగ్ యొక్క నిర్దిష్ట లక్షణాలు:
(1) అధిక నిక్షేపణ రేటు. ఎలక్ట్రోడ్ల వాడకం కారణంగా, చాలా పెద్ద లక్ష్య బాంబు అయాన్ ప్రవాహాలను పొందవచ్చు, కాబట్టి లక్ష్య ఉపరితలంపై స్పట్టరింగ్ ఎచింగ్ రేటు మరియు ఉపరితల ఉపరితలంపై ఫిల్మ్ నిక్షేపణ రేటు ఎక్కువగా ఉంటాయి.
(2) అధిక శక్తి సామర్థ్యం. తక్కువ-శక్తి ఎలక్ట్రాన్లు మరియు వాయు అణువుల మధ్య ఢీకొనే సంభావ్యత ఎక్కువగా ఉంటుంది, కాబట్టి వాయు అయనీకరణ రేటు బాగా పెరుగుతుంది. తదనుగుణంగా, ఉత్సర్గ వాయువు (లేదా ప్లాస్మా) యొక్క అవరోధం బాగా తగ్గుతుంది. అందువల్ల, DC టూ-పోల్ స్పట్టరింగ్తో పోలిస్తే, పని ఒత్తిడి 1~10Pa నుండి 10-2~10-1Paకి తగ్గించబడినప్పటికీ, స్పట్టరింగ్ వోల్టేజ్ అనేక వేల వోల్ట్ల నుండి వందల వోల్ట్లకు తగ్గించబడుతుంది మరియు స్పట్టరింగ్ సామర్థ్యం మరియు నిక్షేపణ రేటు పరిమాణం యొక్క ఆర్డర్ల ద్వారా పెరుగుతుంది.
(3) తక్కువ-శక్తి స్పట్టరింగ్. లక్ష్యానికి వర్తించే తక్కువ కాథోడ్ వోల్టేజ్ కారణంగా, ప్లాస్మా కాథోడ్ దగ్గర ఉన్న ప్రదేశంలో అయస్కాంత క్షేత్రం ద్వారా బంధించబడి ఉంటుంది, ఇది అధిక-శక్తి చార్జ్డ్ కణాలను ఉపరితల వైపుకు సంభవించకుండా నిరోధిస్తుంది. అందువల్ల, సెమీకండక్టర్ పరికరాల వంటి ఉపరితలాలకు చార్జ్డ్ కణాల బాంబు దాడి వల్ల కలిగే నష్టం ఇతర స్పట్టరింగ్ పద్ధతుల కంటే తక్కువగా ఉంటుంది.
–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా.
పోస్ట్ సమయం: సెప్టెంబర్-08-2023