இந்த தொடர் உபகரணங்கள், பூச்சுப் பொருட்களை நானோமீட்டர் அளவிலான துகள்களாக மாற்ற மேக்னட்ரான் இலக்குகளைப் பயன்படுத்துகின்றன, அவை அடி மூலக்கூறுகளின் மேற்பரப்பில் படிந்து மெல்லிய படலங்களை உருவாக்குகின்றன. உருட்டப்பட்ட படலம் வெற்றிட அறையில் வைக்கப்படுகிறது. மின்சாரம் மூலம் இயக்கப்படும் முறுக்கு அமைப்பு மூலம், ஒரு முனை படலத்தைப் பெறுகிறது, மற்றொன்று படலத்தை வைக்கிறது. இது இலக்கு பகுதி வழியாக தொடர்ந்து சென்று இலக்கு துகள்களைப் பெற்று அடர்த்தியான படலத்தை உருவாக்குகிறது.
சிறப்பியல்பு:
1. குறைந்த வெப்பநிலை படலம் உருவாக்கம். வெப்பநிலை படலத்தில் சிறிதளவு தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது மற்றும் சிதைவை ஏற்படுத்தாது. இது PET, PI மற்றும் பிற அடிப்படைப் பொருள் சுருள் படலங்களுக்கு ஏற்றது.
2. படலத்தின் தடிமனை வடிவமைக்க முடியும். மெல்லிய அல்லது தடிமனான பூச்சுகளை செயல்முறை சரிசெய்தல் மூலம் வடிவமைத்து டெபாசிட் செய்யலாம்.
3. பல இலக்கு இருப்பிட வடிவமைப்பு, நெகிழ்வான செயல்முறை. முழு இயந்திரமும் எட்டு இலக்குகளுடன் பொருத்தப்படலாம், அவை எளிய உலோக இலக்குகளாகவோ அல்லது கலவை மற்றும் ஆக்சைடு இலக்குகளாகவோ பயன்படுத்தப்படலாம். ஒற்றை அமைப்புடன் ஒற்றை அடுக்கு படலங்களை அல்லது கூட்டு அமைப்புடன் பல அடுக்கு படலங்களைத் தயாரிக்க இதைப் பயன்படுத்தலாம். செயல்முறை மிகவும் நெகிழ்வானது.
இந்த உபகரணமானது மின்காந்தக் கவசப் படம், நெகிழ்வான சர்க்யூட் போர்டு பூச்சு, பல்வேறு மின்கடத்தாப் படங்கள், பல அடுக்கு AR எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு படம், HR உயர் எதிர்ப்பு பிரதிபலிப்பு படம், வண்ணப் படம் போன்றவற்றைத் தயாரிக்க முடியும். இந்த உபகரணமானது மிகவும் பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் ஒற்றை அடுக்கு படப் படிவை ஒரு முறை படப் படிவு மூலம் முடிக்க முடியும்.
இந்த உபகரணமானது Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl போன்ற எளிய உலோக இலக்குகளையோ அல்லது SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO போன்ற கூட்டு இலக்குகளையோ ஏற்றுக்கொள்ளலாம்.
இந்த உபகரணமானது அளவில் சிறியதாகவும், கட்டமைப்பு வடிவமைப்பில் கச்சிதமாகவும், தரை பரப்பளவில் சிறியதாகவும், ஆற்றல் நுகர்வு குறைவாகவும், சரிசெய்தலில் நெகிழ்வாகவும் உள்ளது. செயல்முறை ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு அல்லது சிறிய தொகுதி வெகுஜன உற்பத்திக்கு இது மிகவும் பொருத்தமானது.