Ha ho bapisoa le mekhoa e meng ea theknoloji ea ho roala, ho roala ha metsi ho na le likarolo tse latelang tsa bohlokoa: lisebelisoa tsa ho sebetsa li na le mefuta e mengata ea phetoho e matla, lebelo la ho roala le botenya (boemo ba sebaka sa ho roala) ho bonolo ho laola, 'me ha ho na lithibelo tsa moralo ho geometry ea sepheo sa sputtering ho netefatsa ho lumellana ha seaparo; Lera la filimi ha le na bothata ba likaroloana tsa marotholi: hoo e batlang e le litšepe tsohle, li-alloys le lisebelisoa tsa ceramic li ka etsoa ka lisebelisoa tse lebisitsoeng; Ka DC kapa RF sputtering, litšepe tse hloekileng kapa tsa alloy tse nang le likarolo tse nepahetseng le tse sa fetoheng le lifilimi tsa tšepe tse nang le karolo ea khase li ka hlahisoa ho fihlela litlhoko tse fapaneng le tse nepahetseng haholo tsa lifilimi. Mekhoa e tloaelehileng ea ts'ebetso ea ho roala sputtering ke: khatello ea ho sebetsa ke 01Pa; Sepheo sa motlakase ke 300 ~ 700V, 'me sepheo sa matla a matla ke 1 ~ 36W / cm2. Litšobotsi tse khethehileng tsa ho sputtering ke:
(1) Sekhahla se phahameng sa deposition. Ka lebaka la ts'ebeliso ea li-electrode, maqhubu a ion a matla haholo a ka bonoa, ka hona, sekhahla sa sputtering etching sebakeng se shebiloeng le sekhahla sa ho beha filimi sebakeng sa substrate se phahame.
(2) Matla a phahameng a matla. Monyetla oa ho thulana pakeng tsa lielektrone tse nang le matla a tlaase le liathomo tsa khase li phahame, kahoo sekhahla sa ionization sa khase se eketsehile haholo. Ka mokhoa o ts'oanang, tšitiso ea khase e tsoang (kapa plasma) e fokotsehile haholo. Ka hona, ha ho bapisoa le sputtering ea lipalo tse peli tsa DC, esita le haeba khatello ea ho sebetsa e fokotsehile ho tloha 1 ~ 10Pa ho ea 10-2 ~ 10-1Pa, motlakase oa sputtering o fokotsehile ho tloha ho likete tse 'maloa tsa li-volts ho ea ho makholo a li-volts,' me katleho ea sputtering le tekanyo ea deposition e eketseha ka litaelo tsa boholo.
(3) Ho phatloha ho fokolang matla. Ka lebaka la matla a tlaase a cathode a sebelisoang ho sepheo, plasma e tlameletsoe sebakeng se haufi le cathode ka matla a khoheli, e thibelang ho ata ha likaroloana tse nang le matla a phahameng ka lehlakoreng la substrate. Ka hona, tekanyo ea tšenyo e bakiloeng ke ho phatloha ha likaroloana tse lefshoang ho li-substrates tse kang lisebelisoa tsa semiconductor li tlase ho feta tsa mekhoa e meng ea ho senya.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua.
Nako ea poso: Sep-08-2023