У поређењу са другим технологијама премазивања, распршивање има следеће значајне карактеристике: радни параметри имају велики динамички опсег подешавања, брзина и дебљина наношења премаза (стање површине премаза) се лако контролишу, и нема ограничења у дизајну геометрије мете распршивања како би се осигурала уједначеност премаза; Слој филма нема проблем са честицама капљица: скоро сви метали, легуре и керамички материјали могу се претворити у материјале за мете; Једносмерним или РФ распршивањем могу се генерисати премази од чистог метала или легура са прецизним и константним пропорцијама и филмови реакције метала са учешћем гаса како би се задовољили разноврсни и високопрецизни захтеви за филмове. Типични параметри процеса распршивања су: радни притисак је 0,1 Па; напон мете је 300~700 В, а густина снаге мете је 1~36 В/цм2. Специфичне карактеристике распршивања су:
(1) Висока брзина таложења. Захваљујући употреби електрода, могу се добити веома велике јонске струје бомбардовања мете, тако да су брзина распршивања и нагризања на површини мете и брзина таложења филма на површини подлоге високе.
(2) Висока енергетска ефикасност. Вероватноћа судара између нискоенергетских електрона и атома гаса је велика, тако да се брзина јонизације гаса значајно повећава. Сходно томе, импеданса гаса пражњења (или плазме) је значајно смањена. Стога, у поређењу са једносмерним двополним распршивањем, чак и ако се радни притисак смањи са 1~10⁻⁶ Па на 10⁻²~10⁻¹ Па, напон распршивања се смањује са неколико хиљада волти на стотине волти, а ефикасност распршивања и брзина таложења се повећавају за редове величине.
(3) Распршивање ниске енергије. Због ниског напона катоде примењеног на мету, плазма је везана у простору близу катоде магнетним пољем, које инхибира појаву високоенергетских наелектрисаних честица са стране подлоге. Стога је степен оштећења изазваног бомбардовањем наелектрисаних честица на подлоге као што су полупроводнички уређаји нижи него код других метода распршивања.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа.
Време објаве: 08.09.2023.