RCW600

Ta serija opreme uporablja magnetronske tarče za pretvorbo premaznih materialov v nanometrske delce, ki se nato nanesejo na površino substratov in tvorijo tanke filme. Zviti film se namesti v vakuumsko komoro. Skozi električno gnano navijalno strukturo en konec sprejme film, drugi pa ga namesti. Nato se film premika skozi ciljno območje in sprejema ciljne delce, s čimer se tvori gost film.
Značilnost:

1. Oblikovanje filma pri nizki temperaturi. Temperatura ima majhen vpliv na film in ne povzroča deformacij. Primeren je za PET, PI in druge osnovne materiale v tuljavah.
2. Debelino filma je mogoče načrtovati. Tanke ali debele prevleke je mogoče načrtovati in nanašati s prilagoditvijo postopka.
3. Zasnova z več lokacijami tarč, prilagodljiv postopek. Celoten stroj je lahko opremljen z osmimi tarčami, ki se lahko uporabljajo kot preproste kovinske tarče ali kot sestavljene in oksidne tarče. Uporablja se lahko za pripravo enoslojnih filmov z enojno strukturo ali večslojnih filmov s kompozitno strukturo. Postopek je zelo prilagodljiv.

Oprema lahko pripravi elektromagnetno zaščitno folijo, prevleko za fleksibilna vezja, različne dielektrične folije, večplastno AR antirefleksno folijo, HR visoko antirefleksno folijo, barvno folijo itd. Oprema ima zelo širok spekter uporabe, nanašanje enoslojne folije pa je mogoče izvesti z enkratnim nanašanjem folije.
Oprema lahko uporablja preproste kovinske tarče, kot so Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itd., ali sestavljene tarče, kot so SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itd.

Oprema je majhna, kompaktne konstrukcije, majhne površine, ima nizko porabo energije in je prilagodljiva pri prilagajanju. Zelo je primerna za procesne raziskave in razvoj ali masovno proizvodnjo majhnih serij.