RCW600

Táto séria zariadení využíva magnetrónové terče na premenu náterových materiálov na nanometrové častice, ktoré sa nanášajú na povrch substrátov a vytvárajú tenké filmy. Zrolovaný film sa umiestni do vákuovej komory. Prostredníctvom elektricky poháňanej navíjacej štruktúry sa film na jeden koniec zavádza a druhý koniec ho umiestňuje. Pokračuje v prechode cieľovou oblasťou a prijíma cieľové častice, čím sa vytvára hustý film.
Charakteristika:

1. Tvorba filmu pri nízkej teplote. Teplota má malý vplyv na film a nespôsobuje deformáciu. Je vhodný pre PET, PI a iné základné materiály na výrobu cievok.
2. Hrúbku filmu je možné navrhnúť. Tenké alebo hrubé povlaky je možné navrhnúť a naniesť úpravou procesu.
3. Dizajn s viacerými umiestneniami terčov, flexibilný proces. Celý stroj môže byť vybavený ôsmimi terčmi, ktoré sa dajú použiť buď ako jednoduché kovové terče, alebo ako zložené a oxidové terče. Môže sa použiť na prípravu jednovrstvových filmov s jednoduchou štruktúrou alebo viacvrstvových filmov s kompozitnou štruktúrou. Proces je veľmi flexibilný.

Zariadenie dokáže pripraviť elektromagnetickú tieniacu fóliu, flexibilný povlak na dosky plošných spojov, rôzne dielektrické fólie, viacvrstvovú antireflexnú fóliu AR, vysoko antireflexnú fóliu HR, farebnú fóliu atď. Zariadenie má veľmi širokú škálu aplikácií a jednorazové nanášanie fólie je možné dokončiť jednorazovým nanášaním fólie.
Zariadenie dokáže spracovať jednoduché kovové terče, ako napríklad Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl atď., alebo zložené terče, ako napríklad SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO atď.

Zariadenie má malé rozmery, kompaktnú konštrukciu, malú podlahovú plochu, nízku spotrebu energie a flexibilné nastavenie. Je veľmi vhodné pre výskum a vývoj procesov alebo malosériovú hromadnú výrobu.