V porovnaní s inými technológiami nanášania povlakov má naprašovanie nasledujúce významné vlastnosti: pracovné parametre majú široký dynamický rozsah nastavenia, rýchlosť a hrúbka nanášania povlaku (stav povlakovej plochy) sa ľahko ovládajú a neexistujú žiadne konštrukčné obmedzenia týkajúce sa geometrie naprašovacieho terča, aby sa zabezpečila rovnomernosť povlaku; vrstva filmu nemá problém s kvapôčkovými časticami: takmer všetky kovy, zliatiny a keramické materiály sa dajú spracovať na terčové materiály; jednosmerným alebo vysokofrekvenčným naprašovaním je možné vytvoriť povlaky z čistého kovu alebo zliatiny s presnými a konštantnými pomermi a reakčné filmy kovov s účasťou plynu, ktoré spĺňajú rozmanité a vysoko presné požiadavky na filmy. Typické procesné parametre naprašovania sú: pracovný tlak je 0,1 Pa; cieľové napätie je 300 až 700 V a cieľová hustota výkonu je 1 až 36 W/cm2. Špecifické vlastnosti naprašovania sú:
(1) Vysoká rýchlosť nanášania. Vďaka použitiu elektród je možné dosiahnuť veľmi veľké iónové prúdy bombardovania terča, takže rýchlosť naprašovania a leptania na povrchu terča a rýchlosť nanášania filmu na povrch substrátu sú vysoké.
(2) Vysoká energetická účinnosť. Pravdepodobnosť zrážky medzi nízkoenergetickými elektrónmi a atómami plynu je vysoká, takže rýchlosť ionizácie plynu sa výrazne zvyšuje. V súlade s tým sa výrazne znižuje impedancia výbojového plynu (alebo plazmy). Preto sa v porovnaní s dvojpólovým jednosmerným naprašovaním, aj keď sa pracovný tlak zníži z 1 ~ 10 Pa na 10⁻² ~ 10⁻¹ Pa, naprašovacie napätie sa zníži z niekoľkých tisíc voltov na stovky voltov a účinnosť naprašovania a rýchlosť nanášania sa zvýšia rádovo.
(3) Nízkoenergetické naprašovanie. V dôsledku nízkeho katódového napätia aplikovaného na terč je plazma viazaná v priestore v blízkosti katódy magnetickým poľom, ktoré bráni dopadu vysokoenergetických nabitých častíc na stranu substrátu. Preto je stupeň poškodenia spôsobený bombardovaním nabitými časticami substrátov, ako sú polovodičové súčiastky, nižší ako pri iných metódach naprašovania.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua.
Čas uverejnenia: 8. septembra 2023