ٻين ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جي مقابلي ۾, اسپٽرنگ ڪوٽنگ ۾ هيٺيان اهم خاصيتون آهن: ڪم ڪندڙ پيرا ميٽرز ۾ هڪ وڏي متحرڪ ترتيب جي حد آهي, ڪوٽنگ جمع ڪرڻ جي رفتار ۽ ٿولهه (ڪوٽنگ ايريا جي حالت) ڪنٽرول ڪرڻ آسان آهن, ۽ ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي کي يقيني بڻائڻ لاءِ اسپٽرنگ ٽارگيٽ جي جاميٽري تي ڪا به ڊيزائن پابندي ناهي; فلم جي پرت ۾ قطرن جي ذرڙن جو مسئلو ناهي: تقريبن سڀئي ڌاتو, مصر ۽ سيرامڪ مواد کي نشانو مواد ۾ ٺاهي سگهجي ٿو; ڊي سي يا آر ايف اسپٽرنگ ذريعي, خالص ڌاتو يا مصر جي ڪوٽنگون صحيح ۽ مسلسل تناسب سان ۽ گئس جي شموليت سان ڌاتو رد عمل فلمون پيدا ڪري سگهجن ٿيون ته جيئن فلمن جي متنوع ۽ اعلي صحت واري گهرجن کي پورو ڪري سگهجي. اسپٽرنگ ڪوٽنگ جا عام عمل پيرا ميٽر آهن: ڪم ڪندڙ دٻاءُ 01Pa آهي; ٽارگيٽ وولٽيج 300 ~ 700V آهي, ۽ ٽارگيٽ پاور کثافت 1 ~ 36W/cm2 آهي. اسپٽرنگ جون مخصوص خاصيتون آهن:
(1) اعليٰ جمع ڪرڻ جي شرح. اليڪٽرروڊ جي استعمال جي ڪري، تمام وڏا ٽارگيٽ بمباري آئن ڪرنٽ حاصل ڪري سگھجن ٿا، تنهنڪري ٽارگيٽ مٿاڇري تي اسپٽرنگ ايچنگ جي شرح ۽ سبسٽريٽ مٿاڇري تي فلم جمع ڪرڻ جي شرح وڌيڪ آهي.
(2) اعليٰ طاقت جي ڪارڪردگي. گھٽ توانائي وارن اليڪٽرانن ۽ گئس ايٽمن جي وچ ۾ ٽڪراءَ جو امڪان وڌيڪ آهي، تنهن ڪري گئس آئنائيزيشن جي شرح تمام گهڻي وڌي وئي آهي. ساڳئي طرح، خارج ٿيندڙ گئس (يا پلازما) جي رڪاوٽ تمام گهٽجي وئي آهي. تنهن ڪري، ڊي سي ٻن قطبن جي اسپٽرنگ جي مقابلي ۾، جيتوڻيڪ ڪم ڪندڙ دٻاءُ 1~10Pa کان 10-2~10-1Pa تائين گهٽجي وڃي، اسپٽرنگ وولٽيج ڪيترن ئي هزار وولٽ کان سوين وولٽ تائين گهٽجي ويندي آهي، ۽ اسپٽرنگ ڪارڪردگي ۽ جمع ڪرڻ جي شرح شدت جي حڪمن سان وڌي ويندي آهي.
(3) گھٽ توانائي وارو ڦڦڙ. ٽارگيٽ تي لاڳو ٿيندڙ گھٽ ڪيٿوڊ وولٽيج جي ڪري، پلازما ڪيٿوڊ جي ويجهو جاءِ ۾ مقناطيسي ميدان سان جڙيل آهي، جيڪو سبسٽريٽ جي پاسي تي اعليٰ توانائي واري چارج ٿيل ذرڙن جي واقعن کي روڪي ٿو. تنهن ڪري، سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جهڙن سبسٽريٽ تي چارج ٿيل ذرڙن جي بمباري جي ڪري نقصان جو درجو ٻين اسپٽرنگ طريقن جي ڀيٽ ۾ گهٽ آهي.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا.
پوسٽ جو وقت: سيپٽمبر-08-2023