Această serie de echipamente utilizează ținte magnetronice pentru a converti materialele de acoperire în particule de dimensiuni nanometrice, care sunt depuse pe suprafața substraturilor pentru a forma pelicule subțiri. Pelicula rulată este plasată în camera de vid. Prin structura de înfășurare acționată electric, un capăt primește pelicula, iar celălalt o introduce. Aceasta continuă să treacă prin zona țintă și primește particulele țintă pentru a forma o peliculă densă.
Caracteristică:
1. Formarea peliculei la temperatură scăzută. Temperatura are un efect redus asupra peliculei și nu va produce deformări. Este potrivită pentru pelicule din PET, PI și alte materiale de bază.
2. Grosimea peliculei poate fi proiectată. Prin ajustarea procesului se pot proiecta și depune acoperiri subțiri sau groase.
3. Design cu locații multiple pentru ținte, proces flexibil. Întreaga mașină poate fi echipată cu opt ținte, care pot fi utilizate fie ca ținte metalice simple, fie ca ținte compuse și de oxid. Poate fi utilizată pentru a prepara filme cu un singur strat cu structură unică sau filme multistrat cu structură compozită. Procesul este foarte flexibil.
Echipamentul poate prepara pelicule de ecranare electromagnetică, acoperiri flexibile pentru plăci de circuite, diverse pelicule dielectrice, pelicule antireflexie AR multistrat, pelicule antireflexie HR cu înaltă rezistență, pelicule color etc. Echipamentul are o gamă foarte largă de aplicații, iar depunerea peliculei într-un singur strat poate fi realizată printr-o singură depunere.
Echipamentul poate adopta ținte metalice simple, cum ar fi Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl etc., sau ținte compuse, cum ar fi SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO etc.
Echipamentul are dimensiuni reduse, o structură compactă, o suprafață redusă, un consum redus de energie și o ajustare flexibilă. Este foarte potrivit pentru cercetarea și dezvoltarea proceselor sau pentru producția de masă în loturi mici.