د نورو کوټینګ ټیکنالوژیو په پرتله، د سپټرینګ کوټینګ لاندې مهمې ځانګړتیاوې لري: کاري پیرامیټرې د متحرک تنظیم کولو لوی حد لري، د کوټینګ جمع کولو سرعت او ضخامت (د کوټینګ ساحې حالت) کنټرول کول اسانه دي، او د سپټرینګ هدف په جیومیټري کې د ډیزاین محدودیتونه شتون نلري ترڅو د کوټینګ یووالي ډاډمن شي؛ د فلم پرت د څاڅکو ذراتو ستونزه نلري: نږدې ټول فلزات، الیاژونه او سیرامیک مواد په هدف موادو کې جوړ کیدی شي؛ د DC یا RF سپټرینګ په واسطه، د دقیق او ثابت تناسب سره خالص فلز یا الیاژ کوټینګونه او د ګاز ګډون سره د فلزي عکس العمل فلمونه د فلمونو متنوع او لوړ دقت اړتیاو پوره کولو لپاره تولید کیدی شي. د سپټرینګ کوټینګ عادي پروسې پیرامیټرې دا دي: کاري فشار 01Pa دی؛ د هدف ولټاژ 300 ~ 700V دی، او د هدف بریښنا کثافت 1 ~ 36W/cm2 دی. د سپټرینګ ځانګړي ځانګړتیاوې دا دي:
(۱) د جمع کولو لوړه کچه. د الکترودونو د کارولو له امله، د هدف په سطحه د بمبارۍ خورا لوی ایون جریان ترلاسه کیدی شي، نو د هدف په سطحه د سپټرینګ ایچینګ کچه او د سبسټریټ سطحه د فلم جمع کولو کچه لوړه ده.
(۲) د بریښنا لوړ موثریت. د ټیټ انرژۍ الکترونونو او ګاز اتومونو ترمنځ د ټکر احتمال لوړ دی، نو د ګاز ایونیزیشن کچه خورا لوړه شوې ده. په ورته ډول، د خارجیدونکي ګاز (یا پلازما) خنډ خورا کم شوی. له همدې امله، د DC دوه قطبي سپټرینګ سره پرتله کول، حتی که چیرې کاري فشار له 1~10Pa څخه 10-2~10-1Pa ته راټیټ شي، د سپټرینګ ولټاژ له څو زره ولټو څخه سلګونو ولټو ته راټیټیږي، او د سپټرینګ موثریت او د زیرمو کچه د اندازې له مخې لوړیږي.
(۳) د ټیټې انرژۍ سپټرینګ. د ټیټې کیتوډ ولټاژ له امله چې هدف ته تطبیق کیږي، پلازما د مقناطیسي ساحې لخوا د کیتوډ ته نږدې ځای کې تړل کیږي، کوم چې د سبسټریټ اړخ ته د لوړ انرژۍ چارج شوي ذراتو پیښې مخنیوی کوي. له همدې امله، د چارج شوي ذراتو بمبارۍ له امله د سیمیکمډکټر وسیلو په څیر سبسټریټ ته د زیان کچه د نورو سپټرینګ میتودونو په پرتله ټیټه ده.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: سپتمبر-۰۸-۲۰۲۳