Ta seria urządzeń wykorzystuje cele magnetronowe do przekształcania materiałów powłokowych w cząstki o wielkości nanometrów, które są osadzane na powierzchni podłoży, tworząc cienkie warstwy. Zwinięta warstwa jest umieszczana w komorze próżniowej. Przez elektrycznie napędzaną strukturę uzwojenia jeden koniec odbiera warstwę, a drugi ją umieszcza. Nadal przechodzi przez obszar docelowy i odbiera cząstki docelowe, tworząc gęstą warstwę.
Charakterystyczny:
1. Formowanie filmu w niskiej temperaturze. Temperatura ma niewielki wpływ na film i nie powoduje deformacji. Nadaje się do filmów z PET, PI i innych materiałów bazowych w zwojach.
2. Można zaprojektować grubość filmu. Cienkie lub grube powłoki można zaprojektować i osadzić poprzez regulację procesu.
3. Projektowanie wielu lokalizacji docelowych, elastyczny proces. Cała maszyna może być wyposażona w osiem celów, które mogą być używane jako proste cele metalowe lub cele złożone i tlenkowe. Może być używana do przygotowywania jednowarstwowych filmów o pojedynczej strukturze lub wielowarstwowych filmów o strukturze kompozytowej. Proces jest bardzo elastyczny.
Urządzenie może przygotowywać folie ekranujące elektromagnetycznie, elastyczne powłoki płytek drukowanych, różnego rodzaju folie dielektryczne, wielowarstwowe folie antyrefleksyjne AR, folie antyrefleksyjne HR, folie kolorowe itp. Urządzenie ma bardzo szeroki zakres zastosowań, a osadzanie pojedynczej warstwy folii można wykonać poprzez jednorazowe osadzanie folii.
Urządzenie może przyjmować proste cele metalowe, takie jak Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itp. lub cele złożone, takie jak SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itp.
Sprzęt jest mały, ma kompaktową konstrukcję, małą powierzchnię podłogi, niskie zużycie energii i jest elastyczny w regulacji. Jest bardzo odpowiedni do badań i rozwoju procesów lub produkcji masowej małych partii.