ਹੋਰ ਕੋਟਿੰਗ ਤਕਨਾਲੋਜੀਆਂ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਵਿੱਚ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ: ਕੰਮ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਪੈਰਾਮੀਟਰਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਵੱਡੀ ਗਤੀਸ਼ੀਲ ਵਿਵਸਥਾ ਸੀਮਾ ਹੈ, ਕੋਟਿੰਗ ਜਮ੍ਹਾਂ ਕਰਨ ਦੀ ਗਤੀ ਅਤੇ ਮੋਟਾਈ (ਕੋਟਿੰਗ ਖੇਤਰ ਦੀ ਸਥਿਤੀ) ਨੂੰ ਕੰਟਰੋਲ ਕਰਨਾ ਆਸਾਨ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਪਟਰਿੰਗ ਟੀਚੇ ਦੀ ਜਿਓਮੈਟਰੀ 'ਤੇ ਕੋਈ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਪਾਬੰਦੀਆਂ ਨਹੀਂ ਹਨ; ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਬੂੰਦਾਂ ਦੇ ਕਣਾਂ ਦੀ ਸਮੱਸਿਆ ਨਹੀਂ ਹੈ: ਲਗਭਗ ਸਾਰੀਆਂ ਧਾਤਾਂ, ਮਿਸ਼ਰਤ ਅਤੇ ਵਸਰਾਵਿਕ ਸਮੱਗਰੀ ਨੂੰ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ ਵਿੱਚ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ; ਡੀਸੀ ਜਾਂ ਆਰਐਫ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੁਆਰਾ, ਫਿਲਮਾਂ ਦੀਆਂ ਵਿਭਿੰਨ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਲਈ ਸ਼ੁੱਧ ਧਾਤ ਜਾਂ ਮਿਸ਼ਰਤ ਕੋਟਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਸਟੀਕ ਅਤੇ ਸਥਿਰ ਅਨੁਪਾਤ ਅਤੇ ਗੈਸ ਭਾਗੀਦਾਰੀ ਵਾਲੀਆਂ ਧਾਤ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਫਿਲਮਾਂ ਨਾਲ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ। ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਦੇ ਖਾਸ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਮਾਪਦੰਡ ਹਨ: ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ 01Pa ਹੈ; ਟੀਚਾ ਵੋਲਟੇਜ 300~700V ਹੈ, ਅਤੇ ਟੀਚਾ ਪਾਵਰ ਘਣਤਾ 1~36W/cm2 ਹੈ। ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੀਆਂ ਖਾਸ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ:
(1) ਉੱਚ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ। ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਬਹੁਤ ਵੱਡੇ ਟਾਰਗੇਟ ਬੰਬਾਰਡਮੈਂਟ ਆਇਨ ਕਰੰਟ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੇ ਜਾ ਸਕਦੇ ਹਨ, ਇਸ ਲਈ ਟਾਰਗੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਐਚਿੰਗ ਦਰ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਸਤਹ 'ਤੇ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ ਉੱਚੀ ਹੈ।
(2) ਉੱਚ ਪਾਵਰ ਕੁਸ਼ਲਤਾ। ਘੱਟ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਇਲੈਕਟ੍ਰੌਨਾਂ ਅਤੇ ਗੈਸ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਵਿਚਕਾਰ ਟਕਰਾਉਣ ਦੀ ਸੰਭਾਵਨਾ ਜ਼ਿਆਦਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਇਸ ਲਈ ਗੈਸ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ੇਸ਼ਨ ਦਰ ਬਹੁਤ ਵੱਧ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਸਦੇ ਅਨੁਸਾਰ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਗੈਸ (ਜਾਂ ਪਲਾਜ਼ਮਾ) ਦੀ ਰੁਕਾਵਟ ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, DC ਦੋ-ਧਰੁਵ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੇ ਮੁਕਾਬਲੇ, ਭਾਵੇਂ ਕੰਮ ਕਰਨ ਦਾ ਦਬਾਅ 1~10Pa ਤੋਂ 10-2~10-1Pa ਤੱਕ ਘਟਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਵੇ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਵੋਲਟੇਜ ਕਈ ਹਜ਼ਾਰ ਵੋਲਟ ਤੋਂ ਸੈਂਕੜੇ ਵੋਲਟ ਤੱਕ ਘਟਾ ਦਿੱਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਦਰ ਵਿਸ਼ਾਲਤਾ ਦੇ ਕ੍ਰਮ ਦੁਆਰਾ ਵਧਦੀ ਹੈ।
(3) ਘੱਟ-ਊਰਜਾ ਵਾਲਾ ਸਪਟਰਿੰਗ। ਟੀਚੇ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਘੱਟ ਕੈਥੋਡ ਵੋਲਟੇਜ ਦੇ ਕਾਰਨ, ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਕੈਥੋਡ ਦੇ ਨੇੜੇ ਸਪੇਸ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਚੁੰਬਕੀ ਖੇਤਰ ਦੁਆਰਾ ਬੰਨ੍ਹਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ, ਜੋ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੇ ਪਾਸੇ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਚਾਰਜਡ ਕਣਾਂ ਦੀ ਘਟਨਾ ਨੂੰ ਰੋਕਦਾ ਹੈ। ਇਸ ਲਈ, ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਡਿਵਾਈਸਾਂ ਵਰਗੇ ਸਬਸਟਰੇਟਾਂ ਨੂੰ ਚਾਰਜਡ ਕਣਾਂ ਦੀ ਬੰਬਾਰੀ ਕਾਰਨ ਹੋਏ ਨੁਕਸਾਨ ਦੀ ਡਿਗਰੀ ਹੋਰ ਸਪਟਰਿੰਗ ਤਰੀਕਿਆਂ ਨਾਲੋਂ ਘੱਟ ਹੈ।
-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਸਤੰਬਰ-08-2023