RCW600

Denne serien med utstyr bruker magnetron-mål for å omdanne beleggmaterialer til nanometerstore partikler, som avsettes på overflaten av substrater for å danne tynne filmer. Den rullede filmen plasseres i vakuumkammeret. Gjennom den elektrisk drevne viklingsstrukturen mottar den ene enden filmen, og den andre enden legger filmen. Den fortsetter å passere gjennom målområdet og mottar målpartiklene for å danne en tett film.
Karakteristisk:

1. Filmdannelse ved lav temperatur. Temperaturen har liten effekt på filmen og vil ikke forårsake deformasjon. Den er egnet for PET-, PI- og andre spiralfilmer av basismaterialer.
2. Filmtykkelsen kan designes. Tynne eller tykke belegg kan designes og avsettes ved prosessjustering.
3. Design med flere målplasseringer, fleksibel prosess. Hele maskinen kan utstyres med åtte mål, som kan brukes som enten enkle metallmål eller sammensatte og oksidmål. Den kan brukes til å lage enkeltlagsfilmer med enkeltstruktur eller flerlagsfilmer med komposittstruktur. Prosessen er svært fleksibel.

Utstyret kan fremstille elektromagnetisk skjermingsfilm, fleksibelt kretskortbelegg, forskjellige dielektriske filmer, flerlags AR-antirefleksjonsfilm, HR-høyantirefleksjonsfilm, fargefilm, etc. Utstyret har et svært bredt spekter av bruksområder, og enkeltlagsfilmavsetning kan fullføres ved engangsfilmavsetning.
Utstyret kan bruke enkle metallmål som Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl osv., eller sammensatte mål som SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO osv.

Utstyret er lite i størrelse, kompakt i strukturdesign, lite gulvareal, lavt energiforbruk og fleksibelt i justering. Det er svært egnet for prosessforskning og -utvikling eller masseproduksjon i små serier.