Sammenlignet med andre beleggteknologier har sputterbelegg følgende viktige egenskaper: arbeidsparametrene har et stort dynamisk justeringsområde, beleggavsetningshastigheten og tykkelsen (beleggområdets tilstand) er enkle å kontrollere, og det er ingen designbegrensninger på geometrien til sputtermålet for å sikre ensartethet i belegget. Filmlaget har ikke problemer med dråpeformede partikler: nesten alle metaller, legeringer og keramiske materialer kan lages til målmaterialer. Ved DC- eller RF-sputtering kan rene metall- eller legeringsbelegg med presise og konstante proporsjoner og metallreaksjonsfilmer med gassdeltakelse genereres for å oppfylle de ulike og høypresisjonskravene til filmer. De typiske prosessparametrene for sputterbelegg er: arbeidstrykket er 0,1 Pa; målspenningen er 300 ~ 700 V, og måleffekttettheten er 1 ~ 36 W / cm2. De spesifikke egenskapene til sputtering er:
(1) Høy avsetningshastighet. På grunn av bruk av elektroder kan man oppnå svært store bombardementionstrømmer for mål, slik at sputteringsetsningshastigheten på måloverflaten og filmavsetningshastigheten på substratoverflaten er høy.
(2) Høy effekteffektivitet. Sannsynligheten for kollisjon mellom lavenergielektroner og gassatomer er høy, slik at gassioniseringshastigheten økes betraktelig. Tilsvarende reduseres impedansen til utladningsgassen (eller plasmaet) betraktelig. Sammenlignet med DC-topolssputtering, selv om arbeidstrykket reduseres fra 1~10Pa til 10-2~10-1Pa, reduseres sputterspenningen fra flere tusen volt til hundrevis av volt, og sputtereffektiviteten og avsetningshastigheten øker med størrelsesordener.
(3) Lavenergi-sputtering. På grunn av den lave katodespenningen som påføres målet, er plasmaet bundet i rommet nær katoden av et magnetfelt, som hemmer forekomsten av høyenergiske ladede partikler på siden av substratet. Derfor er graden av skade forårsaket av bombardement av ladede partikler på substrater som halvlederkomponenter lavere enn ved andre sputteringsmetoder.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua.
Publisert: 08.09.2023