Deze serie apparaten gebruikt magnetrontargets om coatingmaterialen om te zetten in nanometergrote deeltjes, die op het oppervlak van substraten worden afgezet om dunne films te vormen. De opgerolde film wordt in de vacuümkamer geplaatst. Via de elektrisch aangedreven wikkelstructuur ontvangt het ene uiteinde de film en het andere uiteinde de film. De film blijft door het doelgebied stromen en ontvangt de doeldeeltjes om een dichte film te vormen.
Kenmerk:
1. Filmvorming bij lage temperatuur. De temperatuur heeft weinig invloed op de film en veroorzaakt geen vervorming. Geschikt voor PET, PI en andere basismaterialen.
2. De filmdikte kan worden ingesteld. Dunne of dikke coatings kunnen worden ontworpen en aangebracht door middel van procesaanpassing.
3. Ontwerp voor meerdere doellocaties, flexibel proces. De gehele machine kan worden uitgerust met acht targets, die kunnen worden gebruikt als eenvoudige metalen targets of als samengestelde en oxide targets. Het kan worden gebruikt voor het vervaardigen van enkellaagse films met een enkele structuur of meerlaagse films met een samengestelde structuur. Het proces is zeer flexibel.
De apparatuur kan elektromagnetische afschermingsfolie, flexibele printplaatcoating, verschillende diëlektrische folies, meerlaagse AR-antireflectiefolie, HR-hoogreflectiefolie, kleurenfolie, enz. vervaardigen. De apparatuur heeft een zeer breed scala aan toepassingen en de afzetting van één laag film kan worden voltooid door eenmalige filmafzetting.
De apparatuur kan eenvoudige metalen doelen gebruiken, zoals Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, enz., of samengestelde doelen, zoals SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, enz.
De apparatuur is klein van formaat, heeft een compact ontwerp, een klein vloeroppervlak, een laag energieverbruik en is flexibel in te stellen. Het is zeer geschikt voor procesonderzoek en -ontwikkeling of massaproductie in kleine series.