आरसीडब्ल्यू६००

यस श्रृंखलाका उपकरणहरूले कोटिंग सामग्रीहरूलाई न्यानोमिटर आकारका कणहरूमा रूपान्तरण गर्न म्याग्नेट्रोन लक्ष्यहरू प्रयोग गर्दछन्, जुन पातलो फिल्महरू बनाउन सब्सट्रेटहरूको सतहमा जम्मा हुन्छन्। रोल गरिएको फिल्म भ्याकुम चेम्बरमा राखिन्छ। विद्युतीय रूपमा संचालित घुमाउरो संरचना मार्फत, एउटा छेउले फिल्म प्राप्त गर्दछ र अर्को छेउले फिल्म राख्छ। यो लक्ष्य क्षेत्रबाट गुज्रिरहन्छ र बाक्लो फिल्म बनाउन लक्षित कणहरू प्राप्त गर्दछ।
विशेषता:

१. कम तापक्रमको फिल्म बनाउने। तापक्रमले फिल्ममा थोरै प्रभाव पार्छ र विकृति उत्पन्न गर्दैन। यो PET, PI र अन्य आधार सामग्री कुण्डल फिल्महरूको लागि उपयुक्त छ।
२. फिल्मको मोटाई डिजाइन गर्न सकिन्छ। पातलो वा बाक्लो कोटिंग्स डिजाइन गर्न सकिन्छ र प्रक्रिया समायोजन द्वारा जम्मा गर्न सकिन्छ।
३. बहु लक्ष्य स्थान डिजाइन, लचिलो प्रक्रिया। सम्पूर्ण मेसिन आठ लक्ष्यहरूले सुसज्जित हुन सक्छ, जुन साधारण धातु लक्ष्य वा कम्पाउन्ड र अक्साइड लक्ष्यको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ। यसलाई एकल संरचना भएको एकल-तह फिल्महरू वा कम्पोजिट संरचना भएको बहु-तह फिल्महरू तयार गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ। प्रक्रिया धेरै लचिलो छ।

उपकरणले इलेक्ट्रोम्याग्नेटिक शिल्डिङ फिल्म, लचिलो सर्किट बोर्ड कोटिंग, विभिन्न डाइइलेक्ट्रिक फिल्महरू, बहु-तह एआर एन्टीरिफ्लेक्सन फिल्म, एचआर उच्च एन्टीरिफ्लेक्सन फिल्म, रंगीन फिल्म, आदि तयार गर्न सक्छ। उपकरणमा धेरै विस्तृत अनुप्रयोगहरू छन्, र एकल-तह फिल्म निक्षेपण एक पटकको फिल्म निक्षेपण द्वारा पूरा गर्न सकिन्छ।
उपकरणले Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, आदि जस्ता साधारण धातु लक्ष्यहरू वा SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, आदि जस्ता यौगिक लक्ष्यहरू अपनाउन सक्छ।

उपकरण आकारमा सानो, संरचना डिजाइनमा कम्प्याक्ट, भुइँ क्षेत्रफलमा सानो, ऊर्जा खपतमा कम, र समायोजनमा लचिलो छ। यो प्रक्रिया अनुसन्धान र विकास वा सानो ब्याच मास उत्पादनको लागि धेरै उपयुक्त छ।