Din is-serje ta' tagħmir tuża miri tal-manjetron biex tikkonverti l-materjali tal-kisi f'partiċelli ta' daqs nanometriku, li jiġu depożitati fuq il-wiċċ tas-sottostrati biex jiffurmaw films irqaq. Il-film irrumblat jitqiegħed fil-kamra tal-vakwu. Permezz tal-istruttura tal-istralċ imħaddma bl-elettriku, tarf wieħed jirċievi l-film u l-ieħor ipoġġi l-film. Dan ikompli jgħaddi miż-żona fil-mira u jirċievi l-partiċelli fil-mira biex jifforma film dens.
Karatteristika:
1. Formazzjoni ta' film f'temperatura baxxa. It-temperatura għandha ftit effett fuq il-film u mhux se tipproduċi deformazzjoni. Huwa adattat għal PET, PI u films oħra tal-koljaturi ta' materjali bażi.
2. Il-ħxuna tal-film tista' tiġi ddisinjata. Kisi rqiq jew ħoxnin jistgħu jiġu ddisinjati u depożitati permezz ta' aġġustament tal-proċess.
3. Disinn b'lokazzjoni multipla ta' miri, proċess flessibbli. Il-magna kollha tista' tkun mgħammra bi tmien miri, li jistgħu jintużaw jew bħala miri sempliċi tal-metall jew miri komposti u ossidi. Tista' tintuża biex tipprepara films b'saff wieħed bi struttura waħda jew films b'ħafna saffi bi struttura komposta. Il-proċess huwa flessibbli ħafna.
It-tagħmir jista' jipprepara film ta' lqugħ elettromanjetiku, kisi ta' bord ta' ċirkwit flessibbli, diversi films dielettriċi, film antiriflessjoni AR b'ħafna saffi, film antiriflessjoni għolja HR, film bil-kulur, eċċ. It-tagħmir għandu firxa wiesgħa ħafna ta' applikazzjonijiet, u d-depożizzjoni ta' film b'saff wieħed tista' titlesta permezz ta' depożizzjoni ta' film ta' darba.
It-tagħmir jista' jadotta miri sempliċi tal-metall bħal Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, eċċ., jew miri komposti bħal SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, eċċ.
It-tagħmir huwa żgħir fid-daqs, kompatt fid-disinn tal-istruttura, żgħir fl-erja tal-art, baxx fil-konsum tal-enerġija, u flessibbli fl-aġġustament. Huwa adattat ħafna għar-riċerka u l-iżvilupp tal-proċessi jew għall-produzzjoni tal-massa f'lottijiet żgħar.