Berbanding dengan teknologi salutan lain, salutan sputtering mempunyai ciri penting berikut: parameter kerja mempunyai julat pelarasan dinamik yang besar, kelajuan dan ketebalan pemendapan salutan (keadaan kawasan salutan) mudah dikawal, dan tiada sekatan reka bentuk pada geometri sasaran sputtering untuk memastikan keseragaman salutan; Lapisan filem tidak mempunyai masalah zarah titisan: hampir semua logam, aloi dan bahan seramik boleh dijadikan bahan sasaran; Dengan percikan DC atau RF, salutan logam tulen atau aloi dengan perkadaran yang tepat dan tetap serta filem tindak balas logam dengan penyertaan gas boleh dijana untuk memenuhi keperluan pelbagai dan ketepatan tinggi bagi filem. Parameter proses biasa salutan sputtering ialah: tekanan kerja ialah 01Pa; Voltan sasaran ialah 300~700V, dan ketumpatan kuasa sasaran ialah 1~36W/cm2. Ciri-ciri khusus sputtering ialah:
(1) Kadar pemendapan yang tinggi. Disebabkan oleh penggunaan elektrod, arus ion pengeboman sasaran yang sangat besar boleh diperolehi, jadi kadar goresan sputtering pada permukaan sasaran dan kadar pemendapan filem pada permukaan substrat adalah tinggi.
(2) Kecekapan kuasa tinggi. Kebarangkalian perlanggaran antara elektron tenaga rendah dan atom gas adalah tinggi, jadi kadar pengionan gas meningkat dengan ketara. Sejajar dengan itu, impedans gas nyahcas (atau plasma) sangat berkurangan. Oleh itu, berbanding dengan DC sputtering dua kutub, walaupun tekanan kerja dikurangkan daripada 1~10Pa kepada 10-2~10-1Pa, voltan sputtering dikurangkan daripada beberapa ribu volt kepada ratusan volt, dan kecekapan sputtering dan kadar pemendapan meningkat mengikut urutan magnitud.
(3) Sputtering tenaga rendah. Oleh kerana voltan katod rendah digunakan pada sasaran, plasma terikat di ruang berhampiran katod oleh medan magnet, yang menghalang kejadian zarah bercas tenaga tinggi ke sisi substrat. Oleh itu, tahap kerosakan yang disebabkan oleh pengeboman zarah bercas ke substrat seperti peranti semikonduktor adalah lebih rendah daripada kaedah sputtering lain.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua.
Masa siaran: Sep-08-2023