Бусад бүрэх технологитой харьцуулахад шүршигч бүрэх нь дараахь чухал шинж чанартай байдаг: ажлын параметрүүд нь динамик тохируулгын өргөн хүрээтэй, бүрэх хурд, зузаан (бүрхүүлгийн талбайн төлөв) -ийг хянахад хялбар, бүрээсний жигд байдлыг хангах үүднээс шүрших зорилтот геометрийн дизайны хязгаарлалт байхгүй; Кино давхарга нь дусал хэсгүүдийн асуудалгүй: бараг бүх металл, хайлш, керамик материалыг зорилтот материал болгон хийж болно; Тогтмол гүйдэл эсвэл RF цацах замаар хальсны олон янзын, өндөр нарийвчлалтай шаардлагыг хангахын тулд нарийн, тогтмол харьцаатай цэвэр металл эсвэл хайлшаар бүрэх, хийн оролцоотой металлын урвалын хальс үүсгэх боломжтой. Шүршигч бүрэх процессын ердийн параметрүүд нь: ажлын даралт 01Па; Зорилтот хүчдэл нь 300~700V, зорилтот эрчим хүчний нягтрал нь 1~36W/cm2 байна. Шүрших онцлог шинж чанарууд нь:
(1) Хуримтлуулах өндөр түвшин. Электродыг ашигласнаар зорилтот бөмбөгдөлтөд өртөх ионы маш том гүйдлийг авах боломжтой тул зорилтот гадаргуу дээр шүрших, субстратын гадаргуу дээр хальслах хурд өндөр байна.
(2) Өндөр эрчим хүчний үр ашиг. Бага энергитэй электронууд болон хийн атомуудын хооронд мөргөлдөх магадлал өндөр байдаг тул хийн иончлолын хурд ихээхэн нэмэгддэг. Үүний дагуу гадагшлуулах хийн (эсвэл плазмын) эсэргүүцэл ихээхэн буурдаг. Иймээс тогтмол гүйдлийн хоёр туйлтай шүршигчтэй харьцуулахад ажлын даралтыг 1~10Па-аас 10-2~10-1Па хүртэл бууруулсан ч шүрших хүчдэл хэдэн мянган вольтоос хэдэн зуун вольт хүртэл буурч, шүрших үр ашиг, тунадасжилтын хурд нь дарааллаар нэмэгддэг.
(3) Эрчим хүч багатай шүрших. Зорилтот хэсэгт бага катодын хүчдэл өгч байгаа тул плазм нь катодын ойролцоох орон зайд соронзон орны нөлөөгөөр холбогддог бөгөөд энэ нь субстратын хажуу тал руу өндөр энергитэй цэнэгтэй хэсгүүдийн тусгалыг саатуулдаг. Иймээс хагас дамжуулагч төхөөрөмж гэх мэт субстратуудад цэнэглэгдсэн тоосонцорыг бөмбөгдсөний улмаас үүсэх гэмтлийн зэрэг нь бусад цацах аргуудаас бага байдаг.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 9-р сарын 08-ны өдөр