ഈ ഉപകരണ പരമ്പരയിൽ മാഗ്നെട്രോൺ ടാർഗെറ്റുകൾ ഉപയോഗിച്ച് കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലുകളെ നാനോമീറ്റർ വലിപ്പമുള്ള കണങ്ങളാക്കി മാറ്റുന്നു, അവ അടിവസ്ത്രങ്ങളുടെ ഉപരിതലത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ച് നേർത്ത ഫിലിമുകൾ ഉണ്ടാക്കുന്നു. റോൾഡ് ഫിലിം വാക്വം ചേമ്പറിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്നു. വൈദ്യുതമായി പ്രവർത്തിക്കുന്ന വൈൻഡിംഗ് ഘടനയിലൂടെ, ഒരു അറ്റത്ത് ഫിലിം സ്വീകരിക്കുകയും മറ്റേ അറ്റത്ത് ഫിലിം ഇടുകയും ചെയ്യുന്നു. ഇത് ലക്ഷ്യ മേഖലയിലൂടെ കടന്നുപോകുന്നത് തുടരുകയും ലക്ഷ്യ കണങ്ങളെ സ്വീകരിച്ച് ഒരു സാന്ദ്രമായ ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
സ്വഭാവം:
1. താഴ്ന്ന താപനിലയിലുള്ള ഫിലിം രൂപീകരണം. താപനില ഫിലിമിൽ കാര്യമായ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നില്ല, മാത്രമല്ല രൂപഭേദം വരുത്തുകയുമില്ല. ഇത് PET, PI, മറ്റ് അടിസ്ഥാന മെറ്റീരിയൽ കോയിൽ ഫിലിമുകൾ എന്നിവയ്ക്ക് അനുയോജ്യമാണ്.
2. ഫിലിം കനം രൂപകൽപ്പന ചെയ്യാൻ കഴിയും. നേർത്തതോ കട്ടിയുള്ളതോ ആയ കോട്ടിംഗുകൾ പ്രോസസ്സ് അഡ്ജസ്റ്റ്മെന്റ് വഴി രൂപകൽപ്പന ചെയ്യാനും നിക്ഷേപിക്കാനും കഴിയും.
3. ഒന്നിലധികം ലക്ഷ്യ സ്ഥാന രൂപകൽപ്പന, വഴക്കമുള്ള പ്രക്രിയ. മുഴുവൻ മെഷീനും എട്ട് ലക്ഷ്യങ്ങൾ കൊണ്ട് സജ്ജീകരിക്കാം, അവ ലളിതമായ ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങളായോ സംയുക്ത, ഓക്സൈഡ് ലക്ഷ്യങ്ങളായോ ഉപയോഗിക്കാം. ഒറ്റ ഘടനയുള്ള ഒറ്റ-പാളി ഫിലിമുകൾ അല്ലെങ്കിൽ സംയുക്ത ഘടനയുള്ള മൾട്ടി-പാളി ഫിലിമുകൾ തയ്യാറാക്കാൻ ഇത് ഉപയോഗിക്കാം. പ്രക്രിയ വളരെ വഴക്കമുള്ളതാണ്.
ഈ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് ഇലക്ട്രോമാഗ്നറ്റിക് ഷീൽഡിംഗ് ഫിലിം, ഫ്ലെക്സിബിൾ സർക്യൂട്ട് ബോർഡ് കോട്ടിംഗ്, വിവിധ ഡൈഇലക്ട്രിക് ഫിലിമുകൾ, മൾട്ടി-ലെയർ AR ആന്റി-റിഫ്ലക്ഷൻ ഫിലിം, HR ഹൈ ആന്റി-റിഫ്ലക്ഷൻ ഫിലിം, കളർ ഫിലിം മുതലായവ തയ്യാറാക്കാൻ കഴിയും. ഈ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് വളരെ വിപുലമായ ആപ്ലിക്കേഷനുകളുണ്ട്, കൂടാതെ ഒറ്റത്തവണ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ വഴി സിംഗിൾ-ലെയർ ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ പൂർത്തിയാക്കാനും കഴിയും.
Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl മുതലായ ലളിതമായ ലോഹ ലക്ഷ്യങ്ങളോ SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO മുതലായ സംയുക്ത ലക്ഷ്യങ്ങളോ ഉപകരണങ്ങൾക്ക് സ്വീകരിക്കാൻ കഴിയും.
വലിപ്പത്തിൽ ചെറുതും, ഘടനയിൽ ഒതുക്കമുള്ള രൂപകൽപ്പനയും, തറ വിസ്തീർണ്ണത്തിൽ ചെറുതും, ഊർജ്ജ ഉപഭോഗത്തിൽ കുറവും, ക്രമീകരണത്തിൽ വഴക്കമുള്ളതുമാണ് ഈ ഉപകരണങ്ങൾ. പ്രക്രിയ ഗവേഷണത്തിനും വികസനത്തിനും അല്ലെങ്കിൽ ചെറിയ ബാച്ച് മാസ് പ്രൊഡക്ഷനും ഇത് വളരെ അനുയോജ്യമാണ്.