മറ്റ് കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യകളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന് ഇനിപ്പറയുന്ന പ്രധാന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്: പ്രവർത്തന പാരാമീറ്ററുകൾക്ക് വലിയ ഡൈനാമിക് അഡ്ജസ്റ്റ്മെന്റ് ശ്രേണിയുണ്ട്, കോട്ടിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ വേഗതയും കനവും (കോട്ടിംഗ് ഏരിയയുടെ അവസ്ഥ) നിയന്ത്രിക്കാൻ എളുപ്പമാണ്, കൂടാതെ കോട്ടിംഗിന്റെ ഏകീകൃതത ഉറപ്പാക്കാൻ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിന്റെ ജ്യാമിതിയിൽ ഡിസൈൻ നിയന്ത്രണങ്ങളൊന്നുമില്ല; ഫിലിം ലെയറിന് തുള്ളി കണങ്ങളുടെ പ്രശ്നമില്ല: മിക്കവാറും എല്ലാ ലോഹങ്ങൾ, അലോയ്കൾ, സെറാമിക് വസ്തുക്കൾ എന്നിവ ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയലുകളാക്കി മാറ്റാം; DC അല്ലെങ്കിൽ RF സ്പട്ടറിംഗ് വഴി, കൃത്യവും സ്ഥിരവുമായ അനുപാതങ്ങളുള്ള ശുദ്ധമായ ലോഹം അല്ലെങ്കിൽ അലോയ് കോട്ടിംഗുകളും ഗ്യാസ് പങ്കാളിത്തമുള്ള ലോഹ പ്രതികരണ ഫിലിമുകളും ഫിലിമുകളുടെ വൈവിധ്യമാർന്നതും ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ളതുമായ ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റാൻ കഴിയും. സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ സാധാരണ പ്രക്രിയ പാരാമീറ്ററുകൾ ഇവയാണ്: പ്രവർത്തന മർദ്ദം 01Pa ആണ്; ടാർഗെറ്റ് വോൾട്ടേജ് 300~700V ആണ്, ടാർഗെറ്റ് പവർ ഡെൻസിറ്റി 1~36W/cm2 ആണ്. സ്പട്ടറിംഗിന്റെ പ്രത്യേക സവിശേഷതകൾ ഇവയാണ്:
(1) ഉയർന്ന നിക്ഷേപ നിരക്ക്. ഇലക്ട്രോഡുകളുടെ ഉപയോഗം കാരണം, വളരെ വലിയ ലക്ഷ്യ ബോംബാർഡ്മെന്റ് അയോൺ വൈദ്യുതധാരകൾ ലഭിക്കും, അതിനാൽ ലക്ഷ്യ പ്രതലത്തിലെ സ്പട്ടറിംഗ് എച്ചിംഗ് നിരക്കും അടിവസ്ത്ര പ്രതലത്തിലെ ഫിലിം നിക്ഷേപ നിരക്കും ഉയർന്നതാണ്.
(2) ഉയർന്ന ഊർജ്ജ കാര്യക്ഷമത. കുറഞ്ഞ ഊർജ്ജ ഇലക്ട്രോണുകളും വാതക ആറ്റങ്ങളും തമ്മിലുള്ള കൂട്ടിയിടിയുടെ സാധ്യത കൂടുതലാണ്, അതിനാൽ വാതക അയോണൈസേഷൻ നിരക്ക് വളരെയധികം വർദ്ധിക്കുന്നു. അതിനനുസരിച്ച്, ഡിസ്ചാർജ് വാതകത്തിന്റെ (അല്ലെങ്കിൽ പ്ലാസ്മ) പ്രതിരോധം വളരെയധികം കുറയുന്നു. അതിനാൽ, DC ടു-പോൾ സ്പട്ടറിംഗുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, പ്രവർത്തന മർദ്ദം 1~10Pa ൽ നിന്ന് 10-2~10-1Pa ആയി കുറച്ചാലും, സ്പട്ടറിംഗ് വോൾട്ടേജ് ആയിരക്കണക്കിന് വോൾട്ടുകളിൽ നിന്ന് നൂറുകണക്കിന് വോൾട്ടുകളായി കുറയുന്നു, കൂടാതെ സ്പട്ടറിംഗ് കാര്യക്ഷമതയും നിക്ഷേപ നിരക്കും ക്രമാനുഗതമായി വർദ്ധിക്കുന്നു.
(3) കുറഞ്ഞ ഊർജ്ജ സ്പൂട്ടറിംഗ്. ലക്ഷ്യത്തിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന കുറഞ്ഞ കാഥോഡ് വോൾട്ടേജ് കാരണം, പ്ലാസ്മ കാഥോഡിന് സമീപമുള്ള സ്ഥലത്ത് ഒരു കാന്തികക്ഷേത്രത്താൽ ബന്ധിക്കപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു, ഇത് ഉയർന്ന ഊർജ്ജ ചാർജ്ജ് കണികകൾ അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ വശത്തേക്ക് സംഭവിക്കുന്നത് തടയുന്നു. അതിനാൽ, അർദ്ധചാലക ഉപകരണങ്ങൾ പോലുള്ള അടിവസ്ത്രങ്ങളിൽ ചാർജ്ജ് കണികകളുടെ ബോംബാക്രമണം മൂലമുണ്ടാകുന്ന നാശത്തിന്റെ അളവ് മറ്റ് സ്പട്ടറിംഗ് രീതികളേക്കാൾ കുറവാണ്.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ.
പോസ്റ്റ് സമയം: സെപ്റ്റംബർ-08-2023