Ka whakatauritea ki etahi atu hangarau whakakikorua, ko te paninga sputtering nga ahuatanga nui e whai ake nei: ko nga tawhā mahi he nui te awhe whakatikatika hihiri, ko te tere me te matotoru o te paninga paninga (te ahua o te waahi whakakikorua) he ngawari ki te whakahaere, a kaore he herenga hoahoa i runga i te ahuahanga o te whaainga pupuhi hei whakarite i te riterite o te paninga; Ko te paparanga kiriata karekau he raruraru o nga matūriki maturuturu: tata katoa nga konganuku, nga koranu me nga taonga karaehe ka taea te hanga hei taonga whaainga; Ma te DC, RF sputtering ranei, te whakarewa parakore, te koranu koranu ranei me nga waahanga tika me te rite tonu me nga kiriata tauhohenga whakarewa me te whakauru hau ka taea te hanga ki te whakatutuki i nga whakaritenga kanorau me te tino tika o nga kiriata. Ko nga tawhā tukanga angamaheni o te paninga sputtering ko: te pehanga mahi ko 01Pa; Ko te ngaohiko whainga ko 300 ~ 700V, a ko te kaha o te kaha ko te 1 ~ 36W / cm2. Ko nga ahuatanga motuhake o te pupuhi ko:
(1) Te tere o te tukunga. Na te whakamahi i nga electrodes, ka taea te whiwhi i nga au katote poma katoo, no reira he tiketike te reiti etching sputtering i runga i te mata i whäia me te reiti waipara kiriata i runga i te mata tïpako.
(2) Te kaha kaha o te kaha. He nui te tūponotanga o te tukinga i waenga i nga irahiko iti-kaha me nga ngota hau, na reira ka tino piki ake te reeti katote hau. Ka rite ano, ka tino heke te aukati o te hau tuku (te plasma ranei). Na reira, ka whakatauritea ki te DC e rua-pou te pupuhi, ahakoa ka whakahekehia te pehanga mahi mai i te 1 ~ 10Pa ki te 10-2 ~ 10-1Pa, ka whakahekehia te ngaohiko pupuhi mai i te maha o nga mano volts ki nga rau o nga volts, ka piki ake te kaha o te pupuhi me te tere o te whakaheke i nga ota o te nui.
(3) Te pupuhi iti-kaha. Na te iti o te ngaohiko cathode e whakamahia ana ki te whaainga, ka herea te plasma ki te waahi e tata ana ki te cathode e te papa aukume, e aukati ana i te paheketanga o nga matūriki hiko-kaha ki te taha o te taputapu. No reira, he iti ake te tohu o te kino i puta mai i te poma o nga matūriki kua utaina ki nga taputapu penei i nga taputapu semiconductor he iti ake i tera o etahi atu tikanga pupuhi.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua.
Wā tuku: Sep-08-2023