Salīdzinot ar citām pārklāšanas tehnoloģijām, izsmidzināšanas pārklāšanai ir šādas būtiskas īpašības: darba parametriem ir liels dinamiskās regulēšanas diapazons, pārklājuma uzklāšanas ātrumu un biezumu (pārklājuma laukuma stāvokli) ir viegli kontrolēt, un nav konstrukcijas ierobežojumu attiecībā uz izsmidzināšanas mērķa ģeometriju, lai nodrošinātu pārklājuma vienmērīgumu; Plēves slānim nav pilienu daļiņu problēmas: gandrīz visus metālus, sakausējumus un keramikas materiālus var pārvērst mērķa materiālos; Ar līdzstrāvas vai radiofrekvences izsmidzināšanu var ģenerēt tīrus metāla vai sakausējuma pārklājumus ar precīzām un nemainīgām proporcijām un metāla reakcijas plēves ar gāzes piedalīšanos, lai apmierinātu plēvju dažādās un augstas precizitātes prasības. Izsmidzināšanas pārklāšanas tipiskie procesa parametri ir: darba spiediens ir 0,1 Pa; mērķa spriegums ir 300–700 V, un mērķa jaudas blīvums ir 1–36 W/cm2. Izsmidzināšanas specifiskās īpašības ir:
(1) Augsts nogulsnēšanās ātrums. Pateicoties elektrodu izmantošanai, var iegūt ļoti lielas mērķa bombardēšanas jonu strāvas, tāpēc izsmidzināšanas kodināšanas ātrums uz mērķa virsmas un plēves nogulsnēšanās ātrums uz substrāta virsmas ir augsts.
(2) Augsta jaudas efektivitāte. Zemas enerģijas elektronu un gāzes atomu sadursmju varbūtība ir augsta, tāpēc ievērojami palielinās gāzes jonizācijas ātrums. Attiecīgi ievērojami samazinās izlādes gāzes (vai plazmas) pretestība. Tādēļ, salīdzinot ar līdzstrāvas divpolu izsmidzināšanu, pat ja darba spiediens tiek samazināts no 1 ~ 10 Pa līdz 10-2 ~ 10-1 Pa, izsmidzināšanas spriegums samazinās no vairākiem tūkstošiem voltu līdz simtiem voltu, un izsmidzināšanas efektivitāte un nogulsnēšanās ātrums palielinās par lieluma pakāpēm.
(3) Zemas enerģijas izsmidzināšana. Tā kā mērķim tiek pielikts zems katoda spriegums, plazma telpā pie katoda ir saistīta ar magnētisko lauku, kas kavē augstas enerģijas lādētu daļiņu krišanu uz substrāta sāniem. Tāpēc substrātu, piemēram, pusvadītāju ierīču, bojājumu pakāpe, ko rada lādētu daļiņu bombardēšana, ir mazāka nekā citu izsmidzināšanas metožu gadījumā.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 8. septembris