RCW600

Šioje įrangos serijoje naudojami magnetroniniai taikiniai, skirti dangų medžiagoms paversti nanometro dydžio dalelėmis, kurios nusodinamos ant pagrindo paviršiaus ir sudaro plonas plėveles. Susukta plėvelė dedama į vakuuminę kamerą. Per elektra varomą apvijos struktūrą vienas galas priima plėvelę, o kitas ją uždeda. Ji toliau juda per taikinio sritį ir priima taikinio daleles, sudarydama tankią plėvelę.
Būdingas:

1. Žemos temperatūros plėvelės formavimas. Temperatūra mažai veikia plėvelę ir nesukelia deformacijos. Tinka PET, PI ir kitų pagrindinių medžiagų ritininėms plėvelėms.
2. Plėvelės storį galima projektuoti. Plonos arba storos dangos gali būti projektuojamos ir nusodinamos reguliuojant procesą.
3. Kelių taikinių išdėstymo projektavimas, lankstus procesas. Visa mašina gali būti aprūpinta aštuoniais taikiniais, kurie gali būti naudojami kaip paprasti metaliniai taikiniai arba sudėtiniai ir oksidiniai taikiniai. Jis gali būti naudojamas vieno sluoksnio plėvelėms su viena struktūra arba daugiasluoksnėms plėvelėms su kompozicine struktūra paruošti. Procesas yra labai lankstus.

Įranga gali paruošti elektromagnetinę ekranavimo plėvelę, lanksčią plokščių dangą, įvairias dielektrines plėveles, daugiasluoksnę AR antirefleksinę plėvelę, HR didelio antirefleksinę plėvelę, spalvotą plėvelę ir kt. Įranga turi labai platų pritaikymo spektrą, o vieno sluoksnio plėvelės nusodinimas gali būti atliekamas vienkartiniu plėvelės nusodinimu.
Įranga gali apdoroti paprastus metalinius taikinius, tokius kaip Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl ir kt., arba sudėtinius taikinius, tokius kaip SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO ir kt.

Įranga yra mažo dydžio, kompaktiškos konstrukcijos, mažo ploto, mažai energijos suvartojanti ir lanksčiai reguliuojama, todėl ji labai tinka procesų tyrimams ir plėtrai arba mažų partijų masinei gamybai.