Palyginti su kitomis dengimo technologijomis, purškimo dengimas pasižymi šiomis svarbiomis savybėmis: darbiniai parametrai turi didelį dinaminio reguliavimo diapazoną, dangos nusodinimo greitį ir storį (dangos ploto būseną) lengva valdyti, nėra jokių purškimo taikinio geometrijos konstrukcinių apribojimų, siekiant užtikrinti dangos vienodumą; plėvelės sluoksnis neturi lašelių dalelių problemos: beveik visi metalai, lydiniai ir keraminės medžiagos gali būti pagamintos iš taikinių; nuolatinės arba radijo dažnio purškimo būdu galima gauti gryno metalo arba lydinio dangas su tiksliomis ir pastoviomis proporcijomis bei metalo reakcijos plėveles su dujų dalyvavimu, kad būtų patenkinti įvairūs ir didelio tikslumo plėvelių reikalavimai. Tipiniai purškimo dengimo proceso parametrai yra šie: darbinis slėgis yra 01 Pa; taikinio įtampa yra 300–700 V, o taikinio galios tankis yra 1–36 W/cm2. Specifinės purškimo charakteristikos yra šios:
(1) Didelis nusodinimo greitis. Dėl elektrodų naudojimo galima gauti labai dideles taikinio bombardavimo jonų sroves, todėl purškimo ėsdinimo greitis taikinio paviršiuje ir plėvelės nusodinimo greitis ant pagrindo paviršiaus yra didelis.
(2) Didelis energijos vartojimo efektyvumas. Mažos energijos elektronų ir dujų atomų susidūrimo tikimybė yra didelė, todėl dujų jonizacijos greitis labai padidėja. Atitinkamai labai sumažėja išlydžio dujų (arba plazmos) varža. Todėl, palyginti su nuolatinės srovės dvipoliu purškimu, net jei darbinis slėgis sumažinamas nuo 1–10 Pa iki 10⁻²–10⁻¹ Pa, purškimo įtampa sumažėja nuo kelių tūkstančių voltų iki šimtų voltų, o purškimo efektyvumas ir nusodinimo greitis padidėja keliais dydžio eilėmis.
(3) Mažos energijos dulkinimas. Dėl žemos katodo įtampos, taikomos taikiniui, plazma erdvėje šalia katodo yra surišta magnetiniu lauku, kuris slopina didelės energijos įkrautų dalelių kritimą į substrato šoną. Todėl įkrautų dalelių bombardavimo padaryta žala substratams, tokiems kaip puslaidininkiniai įtaisai, yra mažesnė nei taikant kitus dulkinimo metodus.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua.
Įrašo laikas: 2023 m. rugsėjo 8 d.