Башка каптоо технологиялары менен салыштырганда чачыратуу каптоо төмөнкүдөй олуттуу өзгөчөлүктөргө ээ: жумушчу параметрлери чоң динамикалык жөнгө салуу диапазонуна ээ, каптоо чөкүү ылдамдыгын жана калыңдыгын (каптоо аянтынын абалы) башкаруу оңой, ошондой эле каптоонун бирдейлигин камсыз кылуу үчүн чачыратуу объектинин геометриясында долбоорлоо боюнча чектөөлөр жок; пленка катмары тамчы бөлүкчөлөрүнүн көйгөйү жок: дээрлик бардык металлдарды, эритмелерди жана керамикалык материалдарды максаттуу материалдарга жасоого болот; DC же RF чачыратуу аркылуу, тасмалардын ар түрдүү жана жогорку тактык талаптарын канааттандыруу үчүн так жана туруктуу пропорциядагы таза металл же эритме каптоо жана газдын катышуусу менен металл реакциясы пленкалары түзүлүшү мүмкүн. Чачыратуучу каптоо процессинин типтүү параметрлери: жумушчу басымы 01Па; Максаттуу чыңалуу 300~700V, ал эми максаттуу кубаттуулук тыгыздыгы 1~36W/cm2. чачуу өзгөчө мүнөздөмөлөрү болуп төмөнкүлөр саналат:
(1) Депозиттин жогорку деңгээли. Электроддорду колдонуунун аркасында абдан чоң максаттуу бомбалоочу иондук агымдарды алууга болот, андыктан максаттуу бетке чачыратуу стихиясынын ылдамдыгы жана субстраттын бетине пленка коюу ылдамдыгы жогору.
(2) Жогорку энергия натыйжалуулугу. Аз энергиялуу электрондор менен газ атомдорунун кагылышуу ыктымалдыгы жогору, ошондуктан газдын иондошуу ылдамдыгы абдан жогорулайт. Тиешелүү түрдө разряд газынын (же плазманын) импедансы абдан азаят. Ошондуктан, туруктуу токтун эки уюлдуу чачыратуу менен салыштырганда, жумушчу басымы 1 ~ 10Па дан 10-2 ~ 10-1 Па чейин төмөндөтүлгөн күндө да, чачыратуу чыңалуу бир нече миң вольттон жүздөгөн вольтко чейин төмөндөйт жана чачыратуу эффективдүүлүгү жана тундурма ылдамдыгы чоңдуктун буйругу менен жогорулайт.
(3) Төмөн энергия менен чачыратуу. Бутага азыраак катоддук чыңалуу берилгендиктен, плазма катодго жакын мейкиндикте магнит талаасы менен байланышып, жогорку энергиялуу заряддуу бөлүкчөлөрдүн субстраттын капталына түшүүсүн токтотот. Демек, жарым өткөргүч түзүлүштөр сыяктуу субстраттарга заряддалган бөлүкчөлөрдү бомбалоонун натыйжасында келтирилген зыяндын деңгээли башка чачыратуу ыкмаларына караганда төмөн.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа.
Посттун убактысы: 08-2023-ж