RCW600

Ev rêze amûr hedefên magnetron bikar tînin da ku materyalên pêçandinê veguherînin perçeyên bi qasî nanometre, ku li ser rûyê substratan têne danîn da ku fîlimên tenik çêbikin. Fîlma pêçayî di odeya valahiyê de tê danîn. Bi rêya avahiya pêçayî ya bi elektrîkê ve tê ajotin, serê wê fîlimê distîne û yê din fîlimê datîne. Ew berdewam dike ku di nav qada hedef re derbas bibe û perçeyên hedef werdigire da ku fîlimek qalind çêbike.
Taybetî:

1. Çêkirina fîlmê di germahiya nizm de. Germahî bandorek hindik li ser fîlmê dike û deformasyonê çênake. Ji bo fîlmên PET, PI û materyalên din ên bingehîn ên pêçayî minasib e.
2. Qalindahiya fîlmê dikare were sêwirandin. Pêçanên zirav an stûr dikarin bi rêya sererastkirina pêvajoyê werin sêwirandin û danîn.
3. Sêwirana cîhê pir-hedefan, pêvajoyek nerm. Tevahiya makîneyê dikare bi heşt hedefan were stendin, ku dikarin wekî hedefên metal ên sade an jî hedefên tevlihev û oksîdê werin bikar anîn. Ew dikare ji bo amadekirina fîlmên yek-qatî bi avahiyek yekane an fîlmên pir-qatî bi avahiyek tevlihev were bikar anîn. Pêvajo pir nerm e.

Amûr dikarin fîlma parastinê ya elektromanyetîk, pêçandina panela devreyê ya nerm, fîlmên dîelektrîk ên cûrbecûr, fîlma dij-refleksê ya AR-ya pir-qatî, fîlma dij-refleksê ya HR-ya bilind, fîlma rengîn, û hwd. amade bikin. Amûr xwedî rêzek pir fireh ji sepanan e, û danîna fîlma yek-qatî dikare bi danîna fîlmê yek-carî were temam kirin.
Ev amûr dikare hedefên metal ên sade yên wekî Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, û hwd., an jî hedefên tevlihev ên wekî SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, û hwd. qebûl bike.

Amûr ji hêla mezinahîyê ve piçûk, sêwirana avahiyê kompakt, rûbera erdê piçûk, xerckirina enerjiyê kêm, û di verastkirinê de nerm in. Ew ji bo lêkolîn û pêşvebirina pêvajoyê an hilberîna girseyî ya piçûk pir guncaw e.