Li gorî teknolojiyên din ên pêçandinê, pêçandina sputtering xwedî taybetmendiyên girîng ên jêrîn e: Parametreyên xebatê xwedî rêjeyek verastkirina dînamîk a fireh in, leza danîna pêçandinê û stûriya (rewşa qada pêçandinê) hêsan têne kontrol kirin, û ji bo misogerkirina yekrengiya pêçandinê ti sînorkirinên sêwiranê li ser geometrîya hedefa sputtering tune ne; Qata fîlmê pirsgirêka perçeyên dilop tune ye: hema hema hemî metal, alloy û materyalên seramîk dikarin bibin materyalên hedef; Bi sputtering DC an RF, pêçandinên metalê paqij an alloy bi rêjeyên rast û sabît û fîlmên reaksiyonê yên metal bi beşdariya gazê dikarin werin çêkirin da ku hewcedariyên cihêreng û rastbûna bilind ên fîlman bicîh bînin. Parametreyên pêvajoya tîpîk ên pêçandina sputtering ev in: zexta xebatê 01Pa ye; Voltaja armanc 300~700V ye, û dendika hêza armanc 1~36W/cm2 ye. Taybetmendiyên taybetî yên sputtering ev in:
(1) Rêjeya bilind a danînê. Bi saya bikaranîna elektrodan, herikînên îyonê yên bombebarana hedefê yên pir mezin dikarin werin bidestxistin, ji ber vê yekê rêjeya gravurkirina sputterê li ser rûyê hedefê û rêjeya danîna fîlmê li ser rûyê substratê bilind in.
(2) Karîgeriya hêzê ya bilind. Îhtîmala pevçûnê di navbera elektronên kêm-enerjî û atomên gazê de zêde ye, ji ber vê yekê rêjeya îyonîzasyona gazê pir zêde dibe. Bi heman awayî, împedansa gaza derxistinê (an plazmayê) pir kêm dibe. Ji ber vê yekê, li gorî sputterkirina du-qutbî ya DC, her çend zexta xebatê ji 1~10Pa dakeve 10-2~10-1Pa jî, voltaja sputterkirinê ji çend hezar voltî dakeve sedan voltî, û karîgeriya sputterkirinê û rêjeya danînê bi rêzên mezinahî zêde dibin.
(3) Sputterkirina kêm-enerjî. Ji ber voltaja katodê ya nizm a ku li hedefê tê sepandin, plazma di valahiya nêzîkî katodê de bi zeviyek magnetîkî ve girêdayî ye, ku rê li ber çêbûna perçeyên barkirî yên enerjiya bilind ber bi aliyê substratê ve digire. Ji ber vê yekê, pileya zirara ku ji ber bombebarana perçeyên barkirî li ser substratan wekî cîhazên nîvconductor çêdibe, ji ya rêbazên din ên sputterkirinê kêmtir e.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua.
Dema weşandinê: Îlon-08-2023