ಈ ಉಪಕರಣಗಳ ಸರಣಿಯು ಲೇಪನ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ನ್ಯಾನೋಮೀಟರ್ ಗಾತ್ರದ ಕಣಗಳಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸಲು ಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಗುರಿಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇವು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಠೇವಣಿಯಾಗುತ್ತವೆ. ಸುತ್ತಿಕೊಂಡ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿದ್ಯುತ್ ಚಾಲಿತ ಅಂಕುಡೊಂಕಾದ ರಚನೆಯ ಮೂಲಕ, ಒಂದು ತುದಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಪಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇನ್ನೊಂದು ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಹಾಕುತ್ತದೆ. ಇದು ಗುರಿ ಪ್ರದೇಶದ ಮೂಲಕ ಹಾದುಹೋಗುವುದನ್ನು ಮುಂದುವರಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ದಟ್ಟವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಗುರಿ ಕಣಗಳನ್ನು ಸ್ವೀಕರಿಸುತ್ತದೆ.
ಗುಣಲಕ್ಷಣ:
1. ಕಡಿಮೆ ತಾಪಮಾನದ ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆ. ತಾಪಮಾನವು ಫಿಲ್ಮ್ ಮೇಲೆ ಕಡಿಮೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಿರೂಪವನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುವುದಿಲ್ಲ. ಇದು PET, PI ಮತ್ತು ಇತರ ಬೇಸ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಕಾಯಿಲ್ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
2. ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬಹುದು. ತೆಳುವಾದ ಅಥವಾ ದಪ್ಪವಾದ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಮೂಲಕ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಠೇವಣಿ ಮಾಡಬಹುದು.
3. ಬಹು ಗುರಿ ಸ್ಥಳ ವಿನ್ಯಾಸ, ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ. ಇಡೀ ಯಂತ್ರವು ಎಂಟು ಗುರಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಇವುಗಳನ್ನು ಸರಳ ಲೋಹದ ಗುರಿಗಳಾಗಿ ಅಥವಾ ಸಂಯುಕ್ತ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸೈಡ್ ಗುರಿಗಳಾಗಿ ಬಳಸಬಹುದು. ಇದನ್ನು ಏಕ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ಏಕ-ಪದರದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳನ್ನು ಅಥವಾ ಸಂಯೋಜಿತ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ಬಹು-ಪದರದ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಬಳಸಬಹುದು. ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ತುಂಬಾ ಮೃದುವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಈ ಉಪಕರಣವು ವಿದ್ಯುತ್ಕಾಂತೀಯ ರಕ್ಷಾಕವಚ ಫಿಲ್ಮ್, ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಬೋರ್ಡ್ ಲೇಪನ, ವಿವಿಧ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಫಿಲ್ಮ್ಗಳು, ಬಹು-ಪದರದ AR ಪ್ರತಿಬಿಂಬ ವಿರೋಧಿ ಫಿಲ್ಮ್, HR ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರತಿಬಿಂಬ ವಿರೋಧಿ ಫಿಲ್ಮ್, ಕಲರ್ ಫಿಲ್ಮ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳನ್ನು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಬಹುದು. ಈ ಉಪಕರಣವು ಬಹಳ ವ್ಯಾಪಕವಾದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಏಕ-ಪದರದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಒಂದು-ಬಾರಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಯಿಂದ ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಬಹುದು.
ಈ ಉಪಕರಣವು Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಸರಳ ಲೋಹದ ಗುರಿಗಳನ್ನು ಅಥವಾ SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ಸಂಯುಕ್ತ ಗುರಿಗಳನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಬಹುದು.
ಈ ಉಪಕರಣವು ಗಾತ್ರದಲ್ಲಿ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ, ರಚನೆ ವಿನ್ಯಾಸದಲ್ಲಿ ಸಾಂದ್ರವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ನೆಲದ ವಿಸ್ತೀರ್ಣದಲ್ಲಿ ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ, ಶಕ್ತಿಯ ಬಳಕೆಯಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಇದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಅಥವಾ ಸಣ್ಣ ಬ್ಯಾಚ್ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ತುಂಬಾ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.