Басқа жабу технологияларымен салыстырғанда, шашыратқыш жабынның келесі маңызды ерекшеліктері бар: жұмыс параметрлері үлкен динамикалық реттеу диапазонына ие, жабынның тұндыру жылдамдығы мен қалыңдығын (жабын аймағының күйі) бақылау оңай, жабынның біркелкілігін қамтамасыз ету үшін шашыратқыш нысанның геометриясына жобалық шектеулер жоқ; Пленка қабатында тамшы бөлшектерінің проблемасы жоқ: барлық дерлік металдарды, қорытпаларды және керамикалық материалдарды мақсатты материалдарға жасауға болады; Тұрақты немесе жиіліктегі тозаңдату арқылы пленкалардың әртүрлі және жоғары дәлдік талаптарын қанағаттандыру үшін дәл және тұрақты пропорциялары бар таза металл немесе қорытпа жабындары және газ қатысуымен металл реакциялық пленкалар жасалуы мүмкін. Шашыратушы жабынның типтік технологиялық параметрлері: жұмыс қысымы 01Па; Мақсатты кернеу 300~700В, ал мақсатты қуат тығыздығы 1~36Вт/см2. Шашыратудың ерекше сипаттамалары:
(1) Тұндыру жылдамдығы жоғары. Электродтарды қолданудың арқасында өте үлкен мақсатты бомбалау иондық токтарын алуға болады, сондықтан нысана бетіндегі шашырау жылдамдығы және субстрат бетіндегі пленканың тұндыру жылдамдығы жоғары.
(2) Жоғары қуат тиімділігі. Төмен энергиялы электрондар мен газ атомдарының соқтығысу ықтималдығы жоғары, сондықтан газдың иондану жылдамдығы айтарлықтай артады. Сәйкесінше, разрядтық газдың (немесе плазманың) кедергісі айтарлықтай төмендейді. Сондықтан тұрақты токтың екі полюсті тозаңдатуымен салыстырғанда, жұмыс қысымы 1~10Па-дан 10-2~10-1Па дейін төмендетілгеннің өзінде, тозаңдату кернеуі бірнеше мың вольттан жүздеген вольтқа дейін төмендейді, ал шашырату тиімділігі мен тұндыру жылдамдығы шама бойынша өседі.
(3) Төмен энергияны шашырату. Нысанаға берілетін төмен катодты кернеуге байланысты плазма катодқа жақын кеңістікте магнит өрісімен байланысады, ол жоғары энергиялы зарядталған бөлшектердің субстрат жағына түсуін тежейді. Сондықтан зарядталған бөлшектердің субстраттарға, мысалы, жартылай өткізгіш құрылғыларға бомбалаудан болатын зақымдану дәрежесі басқа шашырату әдістеріне қарағанда төмен.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа.
Жіберу уақыты: 08 қыркүйек 2023 ж