Dibandhingake karo teknologi lapisan liyane, lapisan sputtering nduweni fitur penting ing ngisor iki: paramèter kerja duwe sawetara penyesuaian dinamis sing gedhe, kacepetan lan ketebalan lapisan lapisan (kahanan area lapisan) gampang dikontrol, lan ora ana watesan desain ing geometri target sputtering kanggo njamin keseragaman lapisan; Lapisan film ora duwe masalah partikel tetesan: meh kabeh logam, paduan lan bahan keramik bisa digawe dadi bahan target; Kanthi sputtering DC utawa RF, lapisan logam murni utawa campuran kanthi proporsi sing tepat lan konstan lan film reaksi logam kanthi partisipasi gas bisa diasilake kanggo nyukupi syarat film sing maneka warna lan presisi. Parameter proses sing khas saka lapisan sputtering yaiku: tekanan kerja yaiku 01Pa; Tegangan target yaiku 300 ~ 700V, lan Kapadhetan daya target yaiku 1 ~ 36W / cm2. Ciri khas sputtering yaiku:
(1) Tingkat deposisi dhuwur. Amarga panggunaan elektroda, arus ion bombardment target sing gedhe banget bisa dipikolehi, saengga tingkat etsa sputtering ing permukaan target lan tingkat deposisi film ing permukaan substrate dhuwur.
(2) Efisiensi daya dhuwur. Kemungkinan tabrakan antarane elektron energi rendah lan atom gas dhuwur, saengga tingkat ionisasi gas saya tambah akeh. Kajaba iku, impedansi saka gas discharge (utawa plasma) wis suda banget. Mulane, dibandhingake karo DC loro-pole sputtering, sanajan tekanan kerja wis suda saka 1 ~ 10Pa kanggo 10-2 ~ 10-1Pa, voltase sputtering wis suda saka sawetara ewu volt kanggo atusan volt, lan efficiency sputtering lan tingkat deposition mundhak dening pesenan saka gedhene.
(3) Sputtering kurang energi. Amarga voltase katoda sing kurang ditrapake ing target, plasma kaiket ing papan cedhak katoda kanthi medan magnet, sing nyegah kedadeyan partikel sing diisi energi dhuwur ing sisih pinggir substrat. Mulane, tingkat karusakan sing disebabake dening pamboman partikel sing diisi menyang substrat kayata piranti semikonduktor luwih murah tinimbang metode sputtering liyane.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua.
Wektu kirim: Sep-08-2023