抵抗蒸着源コーティングとは何ですか？

抵抗蒸着源コーティングは、基本的な真空蒸着コーティング法です。「蒸着」とは、真空チャンバー内でコーティング材料を加熱・蒸発させ、材料の原子や分子が蒸発して表面から飛び出し、蒸気流現象を形成して基板表面に衝突し、最終的に凝縮して固体膜を形成する薄膜作製法を指します。

いわゆる抵抗加熱蒸発源コーティング法とは、タンタル、モリブデン、タングステンなどの高融点金属を用いて適切な形状の蒸発源を作製し、そこに蒸発させる材料を充填し、空気を流して直接加熱・蒸発させる方法、あるいはアルミナ、酸化ベリリウムなどのるつぼに蒸発させる材料を入れて間接的に加熱・蒸発させる方法である。これが抵抗加熱蒸発法である。

の真空蒸着コーティング装置抵抗加熱蒸発法は、構造がシンプルで低コスト、かつ信頼性の高い使用が可能という利点があります。特に、融点の低い材料の蒸着コーティングに適しており、コーティング品質に対する要求が低い大量生産に適しています。現在でも、アルミニウム蒸着ミラーの製造において、抵抗加熱蒸発法を用いたコーティングプロセスが数多く採用されています。

抵抗蒸発源を用いた蒸着コーティング法の欠点は、加熱によって到達できる最高温度が限られていることと、ヒーターの寿命が短いことである。近年、抵抗蒸発源の寿命を改善するために、装置メーカーは長寿命の窒化ホウ素合成導電性セラミック材料を蒸着源として採用している。日本の特許報告によると、窒化ホウ素を20%～30%含む材料と、それと融着可能な耐火材料を用いて蒸着源（るつぼ）を作り、その表面にジルコニウムを62%～82%含む層をコーティングし、残りをジルコニウム-シリコン合金材料とすることができる。