Pelapisan sumber penguapan resistensi adalah metode pelapisan penguapan vakum dasar."Evaporasi" mengacu pada metode persiapan film tipis di mana bahan pelapis dalam ruang vakum dipanaskan dan diuapkan, sehingga atom atau molekul material menguap dan keluar dari permukaan, membentuk fenomena aliran uap, terjadi pada permukaan substrat atau substrat, dan akhirnya terkondensasi untuk membentuk film padat.
Apa yang disebut metode pelapisan sumber penguapan resistensi adalah dengan menggunakan tantalum, molibdenum, tungsten dan logam titik leleh tinggi lainnya untuk membuat bentuk sumber penguapan yang sesuai, yang sarat dengan bahan yang akan diuapkan, membiarkan udara mengalir, langsung memanaskan dan menguapkan bahan yang diuapkan, atau memasukkan bahan yang akan diuapkan ke dalam alumina, berilium oksida dan cawan lebur lainnya untuk pemanasan dan penguapan tidak langsung.Ini adalah metode penguapan pemanasan resistensi.
Itumesin pelapis penguapan vakumdipanaskan dan diuapkan oleh pemanas resistansi memiliki keunggulan struktur sederhana, biaya rendah, dan penggunaan yang andal.Ini dapat digunakan untuk pelapisan penguapan bahan dengan titik leleh rendah, terutama untuk produksi massal dengan persyaratan rendah untuk kualitas pelapisan.Sejauh ini, masih ada sejumlah besar proses pelapisan tahan pemanasan dan penguapan yang digunakan dalam produksi cermin aluminisasi.
Kerugian dari metode pelapisan sumber evaporasi resistansi adalah suhu maksimum yang dapat dicapai dengan pemanasan terbatas, dan masa pakai pemanas juga pendek.Dalam beberapa tahun terakhir, untuk meningkatkan masa pakai sumber penguapan resistensi, pabrik peralatan telah mengadopsi bahan keramik konduktif yang disintesis oleh boron nitrida dengan umur panjang sebagai sumber penguapan.Menurut laporan paten Jepang, dapat menggunakan bahan yang terdiri dari 20% ~ 30% boron nitrida dan bahan tahan api yang dapat menyatu dengannya untuk membuat sumber penguapan (wadah), dan melapisi permukaannya dengan lapisan zirkonium yang mengandung 62% ~82%, dan sisanya adalah bahan paduan zirkonium-silikon.
Waktu posting: Apr-22-2023